Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS New Aristo (NAR) 1200 #293763724 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293763724
Vertical inline sputtering system
Applications: Metal, SiO2 / ITO
Throughput: 270 Substrates/h
Compressed air pressure: 5.5 Bar
Chamber:
Material: Stainless steel
Vacuum leakage: ≤1x10-8 mbar l/sec
Carrier transfer system:
AC Motor
Conveyor
One feedthrough per chamber
Substrate carrier:
Material: Aluminum
Dimensions:
1700 x 1100 mm²
1700 x 980 mm²
Vacuum measuring equipment:
Pirani vacuum meter type: Thermovac TR 306
Cold Ionization vacuum type: PKR 251
Capacitance vacuum meter type: MKS Baratron 627
Sputter cathode:
Type: DC Magnetron
Material of backing plate: Cooper with cooling channel
Target fixing: Bonding
Magnetic field:
SiO2 / Cr: Magnet array
ITO
Target size:
ITO: 1400 x 190 x 6/9 mm
Cr: 1400 x 190 x 12 mm
SiO2: 100 x 100 x 16 mm
Cooling water specification:
Pressure minimum / Maximum: 5/7 bar
Water inlet temperature range: 15° C-25° C
Constant temperature: ±2°C
Hardness of water: 6-8°dH
pH Value: 8-10
Foreign particles:
Size: Maximum 100 µm
Concentration: Maximum 10/cm³
Dissolved C1: Maximum 20mg/l
Dissolved CO2: Maximum 15 mg/l
Sputter gas:
Argon
CO2
Argon/Oxygen (95/5)
Oxygen
Nitrogen
Ambient requirements:
Temperature machine control room: 20°-25° C
Relative humidity: ≤ 60 %
Vacuum data:
Entrance / Exit chamber: ≤ 2 E^-02 hPa
Transfer chamber: ≤ 5 E^-06 hPa
Process chamber: ≤ 1 E^-06 hPa
Purity of sputter gas: 99.999%
Turbo molecular pump
Rotary pump
Roots pump
ADVANCED ENERGY MDX Power supply
Heater system
PC
Operating system: Windows
Power supply: 400 V, 3 Phase, 60 Hz, 5 Wires (3 AC, N, PE).
AMAT New Aristo (NAR) 1200 ist eine hochmoderne Sputteranlage zur Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung in Halbleiterherstellungsprozessen. Dieses fortschrittliche System verfügt über modernste Technologie, um außergewöhnliche Präzision, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit für eine breite Palette von Sputteranwendungen zu bieten. Die NAR 1200 bietet eine umfassende Lösung zum Abscheiden von dünnen Folien mit überlegener Qualität und Effizienz und ist damit eine ideale Wahl für Branchen, die fortschrittliche Dünnschichtbeschichtungsfähigkeiten benötigen. Eines der Hauptmerkmale des NAR 1200 ist seine fortschrittliche Sputtertechnologie, die eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses ermöglicht. Das Gerät ist mit einer Hochleistungs-HF-Sputterquelle ausgestattet, die ein effizientes Ionenbeschuss und Sputtern von Zielmaterialien auf die Substratoberfläche ermöglicht. Dadurch ergibt sich eine gleichmäßige und dichte Dünnschichtbeschichtung mit ausgezeichneten Haft- und Filmeigenschaften. Die NAR 1200 verfügt zudem über eine anpassbare Kammerkonfiguration, die Flexibilität bei der Aufnahme verschiedener Substratgrößen und -formen ermöglicht. Diese Vielseitigkeit macht die Maschine für ein breites Anwendungsspektrum geeignet, von kleinen Forschungs- und Entwicklungsprojekten bis hin zu serienreichen Prozessen. Die Kammer ist aus hochwertigen Materialien aufgebaut, um die Verträglichkeit mit einer Vielzahl von Zielmaterialien und Abscheidebedingungen zu gewährleisten. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Sputterfunktionen bietet der NAR 1200 eine präzise Kontrolle über Prozessparameter wie Abscheiderate, Zielnutzung, Gasfluss und Substrattemperatur. Das Tool ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, den Abscheideprozess einfach in Echtzeit zu programmieren und zu überwachen. Diese nahtlose Schnittstelle ermöglicht eine effiziente Bedienung und Optimierung von Dünnschichtabscheidungsparametern, um gewünschte Filmeigenschaften und Leistungseigenschaften zu erreichen. Darüber hinaus wurde der NAR 1200 mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen entwickelt, um den Bedienerschutz und die Anlagenintegrität während des Betriebs zu gewährleisten. Das Modell beinhaltet Interlocks, Überwachungssensoren und automatisierte Abschaltmechanismen, um potenzielle Gefahren zu vermeiden und eine kontrollierte Umgebung zu erhalten. Diese Sicherheitsmaßnahmen erhöhen die allgemeine Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit der Geräte und gewährleisten gleichzeitig die Einhaltung der Industrievorschriften und -standards. Insgesamt ist das neue Sputtersystem Aristo (NAR) 1200 eine hochmoderne Lösung für die Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung in der Halbleiterherstellung. Mit seiner fortschrittlichen Sputtertechnologie, der anpassbaren Kammerkonfiguration, der präzisen Prozesssteuerung, der benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und den Sicherheitsfunktionen bietet der NAR 1200 unübertroffene Fähigkeiten für überlegene Dünnschichtbeschichtungen mit außergewöhnlicher Qualität und Effizienz. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für Industriezweige, die fortschrittliche Dünnschichtbeschichtungslösungen suchen, um ihre sich entwickelnden Anforderungen an Hochleistungs-Halbleiterbauelemente zu erfüllen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor