Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS New Aristo (NAR) 1200 #293763724 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS New Aristo (NAR) 1200
ID: 293763724
Vertical inline sputtering system Applications: Metal, SiO2 / ITO Throughput: 270 Substrates/h Compressed air pressure: 5.5 Bar Chamber: Material: Stainless steel Vacuum leakage: ≤1x10-8 mbar l/sec Carrier transfer system: AC Motor Conveyor One feedthrough per chamber Substrate carrier: Material: Aluminum Dimensions: 1700 x 1100 mm² 1700 x 980 mm² Vacuum measuring equipment: Pirani vacuum meter type: Thermovac TR 306 Cold Ionization vacuum type: PKR 251 Capacitance vacuum meter type: MKS Baratron 627 Sputter cathode: Type: DC Magnetron Material of backing plate: Cooper with cooling channel Target fixing: Bonding Magnetic field: SiO2 / Cr: Magnet array ITO Target size: ITO: 1400 x 190 x 6/9 mm Cr: 1400 x 190 x 12 mm SiO2: 100 x 100 x 16 mm Cooling water specification: Pressure minimum / Maximum: 5/7 bar Water inlet temperature range: 15° C-25° C Constant temperature: ±2°C Hardness of water: 6-8°dH pH Value: 8-10 Foreign particles: Size: Maximum 100 µm Concentration: Maximum 10/cm³ Dissolved C1: Maximum 20mg/l Dissolved CO2: Maximum 15 mg/l Sputter gas: Argon CO2 Argon/Oxygen (95/5) Oxygen Nitrogen Ambient requirements: Temperature machine control room: 20°-25° C Relative humidity: ≤ 60 % Vacuum data: Entrance / Exit chamber: ≤ 2 E^-02 hPa Transfer chamber: ≤ 5 E^-06 hPa Process chamber: ≤ 1 E^-06 hPa Purity of sputter gas: 99.999% Turbo molecular pump Rotary pump Roots pump ADVANCED ENERGY MDX Power supply Heater system PC Operating system: Windows Power supply: 400 V, 3 Phase, 60 Hz, 5 Wires (3 AC, N, PE).
AMAT New Aristo (NAR) 1200 ist eine hochmoderne Sputteranlage zur Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung in Halbleiterherstellungsprozessen. Dieses fortschrittliche System verfügt über modernste Technologie, um außergewöhnliche Präzision, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit für eine breite Palette von Sputteranwendungen zu bieten. Die NAR 1200 bietet eine umfassende Lösung zum Abscheiden von dünnen Folien mit überlegener Qualität und Effizienz und ist damit eine ideale Wahl für Branchen, die fortschrittliche Dünnschichtbeschichtungsfähigkeiten benötigen. Eines der Hauptmerkmale des NAR 1200 ist seine fortschrittliche Sputtertechnologie, die eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses ermöglicht. Das Gerät ist mit einer Hochleistungs-HF-Sputterquelle ausgestattet, die ein effizientes Ionenbeschuss und Sputtern von Zielmaterialien auf die Substratoberfläche ermöglicht. Dadurch ergibt sich eine gleichmäßige und dichte Dünnschichtbeschichtung mit ausgezeichneten Haft- und Filmeigenschaften. Die NAR 1200 verfügt zudem über eine anpassbare Kammerkonfiguration, die Flexibilität bei der Aufnahme verschiedener Substratgrößen und -formen ermöglicht. Diese Vielseitigkeit macht die Maschine für ein breites Anwendungsspektrum geeignet, von kleinen Forschungs- und Entwicklungsprojekten bis hin zu serienreichen Prozessen. Die Kammer ist aus hochwertigen Materialien aufgebaut, um die Verträglichkeit mit einer Vielzahl von Zielmaterialien und Abscheidebedingungen zu gewährleisten. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Sputterfunktionen bietet der NAR 1200 eine präzise Kontrolle über Prozessparameter wie Abscheiderate, Zielnutzung, Gasfluss und Substrattemperatur. Das Tool ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, den Abscheideprozess einfach in Echtzeit zu programmieren und zu überwachen. Diese nahtlose Schnittstelle ermöglicht eine effiziente Bedienung und Optimierung von Dünnschichtabscheidungsparametern, um gewünschte Filmeigenschaften und Leistungseigenschaften zu erreichen. Darüber hinaus wurde der NAR 1200 mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen entwickelt, um den Bedienerschutz und die Anlagenintegrität während des Betriebs zu gewährleisten. Das Modell beinhaltet Interlocks, Überwachungssensoren und automatisierte Abschaltmechanismen, um potenzielle Gefahren zu vermeiden und eine kontrollierte Umgebung zu erhalten. Diese Sicherheitsmaßnahmen erhöhen die allgemeine Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit der Geräte und gewährleisten gleichzeitig die Einhaltung der Industrievorschriften und -standards. Insgesamt ist das neue Sputtersystem Aristo (NAR) 1200 eine hochmoderne Lösung für die Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung in der Halbleiterherstellung. Mit seiner fortschrittlichen Sputtertechnologie, der anpassbaren Kammerkonfiguration, der präzisen Prozesssteuerung, der benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und den Sicherheitsfunktionen bietet der NAR 1200 unübertroffene Fähigkeiten für überlegene Dünnschichtbeschichtungen mit außergewöhnlicher Qualität und Effizienz. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für Industriezweige, die fortschrittliche Dünnschichtbeschichtungslösungen suchen, um ihre sich entwickelnden Anforderungen an Hochleistungs-Halbleiterbauelemente zu erfüllen.
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