Gebraucht ANATECH Hummer VIII #9249717 zu verkaufen
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ID: 9249717
Wafergröße: 8"
Sputtering coater, 8"
(3) Target systems (2" in each triangle)
Pyrex chamber, 12"
Dual stage vacuum pump (Rebuilt)
(3) Sputter heads
(3) Sources for noble metals
Power consumption:
115 VAC, 60 Hz, 6 amps
220-250 VAC, 50 Hz, 3 amps
Output: 0-3000 Volts, 0-30 milliamps.
ANATECH Hummer VIII ist eine Sputteranlage zum Abscheiden von dünnen Folien auf Niederverzugs- und Hochtemperatursubstraten. Es verfügt über eine robuste, hochflexible Plattform, die eine breite Palette von Materialien wie Oxid, Nitrid und Metalle abscheiden kann. Das System bietet zudem eine hervorragende Folieneinheitlichkeit und Wiederholbarkeit und ist somit eine ideale Wahl für anspruchsvolle Anwendungen. Hummer VIII enthält eine Hochtemperatur-Substratkammer, die Temperaturen bis 800 ° C erreichen kann. Dies bietet dem Anwender die Möglichkeit, eine Vielzahl von Hochtemperatursubstraten zu verarbeiten und ermöglicht auch den Einsatz von PECVD-Beschichtungen. Die HuVII bietet auch eine breite Palette von Sputterzielen, einschließlich Si/SiO2 und SiC/SiNx, sowie dielektrische und Metalloptionen. Ein besonders vorteilhaftes Merkmal der Einheit ist die Möglichkeit von Paar- oder Multizielkonfigurationen, mit denen Beschichtungsprozesse optimiert werden können, um Materialien mit spezifischen Eigenschaften herzustellen. ANATECH Hummer VIII beinhaltet eine breite Palette von Prozesssteuerungen, mit denen präzise Abscheideraten und Dicken eingehalten werden können. Dies kann durch eine Kombination von Prozessparametern, einschließlich Gasflussrate, Gaszusammensetzung, Druck, HF-Leistung, Sputterrate und Temperatur, erreicht werden. Zusätzlich bietet das HuVII eine automatisierte Steuerung der Substratbewegung, die eine Optimierung der Beschichtungsparameter ermöglicht. HUMMER VIII ist aufgrund seiner robusten, hochflexiblen Plattform und seiner vielfältigen Abscheideeigenschaften eine ideale Maschine zur Herstellung hochwertiger Dünnfolien. Es ist gut geeignet für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Abscheidung von Supraleitern, transparenten Leitern, Dielektrika und magnetooptischen Filmen. Darüber hinaus kann das Werkzeug verwendet werden, um mehrschichtige Stapel zu erstellen, so dass spezifische, gezielte Folienstrukturen erstellt werden können. All diese Merkmale machen ANATECH Hummer VIII zu einer ausgezeichneten Wahl für die Abscheidung von dünnen Filmen.
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