Gebraucht ANATECH / TECHNICS HUMMER IV-A #9004324 zu verkaufen
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ID: 9004324
Table top sputtering system
3" diameter cathode
4" diameter Pyrex chamber
LEYBOLD D1.6A dual stage pump.
ANATECH/TECHNICS HUMMER IV-A ist eine hochwertige Sputterausrüstung, die dünne Filme auf Oberflächen in Forschung und Produktion ablegen soll. Es ist in der Lage, Filme aus einer Vielzahl von Materialien mit verschiedenen elektrostatischen Sputterverfahren einschließlich DC, RF und Pulsfrequenzsputtern abzuscheiden. Dieses vielseitige, kostengünstige System kann große oder kleine Substrate wie Metalle, Oxide, Gläser, Keramiken und Kunststoffe aufnehmen. Die Sputtereinheit ist in einem kompakten, fußdruckfreundlichen Edelstahlgehäuse mit integrierter Stromversorgung für einfachen Transport untergebracht. Die Sputterkammer hat einen Durchmesser von 250mm und eine Höhe von 400mm, wodurch sie für eine breite Palette von Substratgrößen geeignet ist. Die Kammer verfügt über eine variable Druckregelung bis zu 8̃ Pa, was eine verbesserte Filmgleichförmigkeit bei der Abscheidung ermöglicht. Die Maschine ist mit einem Satz von fünf drehbaren Sputtertargets mit jeweils 13,5 "Durchmesser ausgestattet, die eine gleichzeitige Abscheidung aus mehreren Materialien ermöglichen. Das Werkzeug ist außerdem mit einem HF-Generator mit einer maximalen Impulswiederholfrequenz von 1100 Hz ausgestattet, der programmierbare HF-Sputterfrequenzen bis 50 kHz bereitstellt. Um eine stabile Plasmaatmosphäre und optimale Dünnschichtabscheidungsergebnisse zu gewährleisten, ist ein einstellbarer Gasstrom- und Druckregler enthalten. Zu den weiteren Merkmalen gehören eine Kühl- und Lüftungsanlage für eine bessere Umgebungssteuerung, ein thermoelementgesteuertes Heizmodell für eine einheitliche Substrattemperaturregelung und eine anpassbare benutzerfreundliche Software zur einfacheren Programmierung der verschiedenen Sputterparameter. ANATECH HUMMER IV-A ist für seine branchenführende Leistung bekannt und soll es Forschern und Produktionsingenieuren ermöglichen, perfekte Filmergebnisse für ihre Anwendungen zu erzielen. Das vielseitige Design und die modernsten Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Sputteraufgaben.
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