Gebraucht ANATECH / TECHNICS HUMMER V #5717 zu verkaufen
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ID: 5717
Manually controlled tabletop sputter system
Process: depositing a conductive coating for visualizing SEM samples
Sputter deposition process is more uniform and reproducible
Yields more adherent films with finer grains than in evaporation systems
A bell jar will be installed on the tool
Internal pump: Mitsubishi Elec. Super Line, single phase induction motor, type SP-NRF
No targets included.
ANATECH/TECHNICS HUMMER V ist eine Sputteranlage, die entwickelt wurde, um gleichmäßige Schichten aus organischen und anorganischen Materialien auf flachen Substraten bereitzustellen. Es verfügt über eine Vakuumkammer und zwei Probenhalter, bis zu vier Quellen, mehrere Prozessgase und eine breite Palette von Sputter- und Abscheidungsparametern. ANATECH HUMMER V verwendet eine invertierte Magnetron-Technik (IMT), bei der zylindrische Spulen dem Sputter-Target ein achsensymmetrisches Magnetfeld verleihen und das gesputterte Material in der Mitte des Magnetrons gesammelt wird. Die IMT-Technik bietet eine verbesserte Plasmagleichförmigkeit im Vergleich zum herkömmlichen DC-Sputtern. Darüber hinaus verfügt TECHNICS HUMMER V auch über Niederstrom- und Niederspannungsbetrieb, was eine größere Kontrolle über den Sputterprozess ermöglicht. Als DC-Magnetron-Sputtersystem hat HUMMER V eine Reihe von Vorteilen gegenüber anderen Sputtertechniken. Insbesondere ermöglicht der niedrige Strombetrieb eine stressarme Implantation, die die Haftung von Materialien auf dem Substrat deutlich verbessern kann. Zusätzlich liefert die Mehrfachgasfördereinheit schnelle, wiederholbare Prozesse mit konsistenten Ergebnissen jedes Mal. Durch die Verwendung mehrerer Gase ist die Sputterquelle in der Lage, sowohl reaktives als auch nicht-reaktives Sputtern bereitzustellen, was die Abscheidung unterschiedlichster Materialien mit unterschiedlichen Eigenschaften ermöglicht. ANATECH/TECHNICS HUMMER V wurde entwickelt, um eine breite Palette von Betriebsparametern und Optionen zur Verfügung zu stellen, die eine Vielzahl von Anwendungen ermöglichen. Neben seiner DC-Sputtermaschine verfügt ANATECH HUMMER V über eine Mehrfachionenquelle, die die Erstellung von Twin-Peak und kundenspezifischen Profilen aus implantiertem Material ermöglicht. Durch die Verwendung der Multiionenquellen ermöglicht TECHNICS HUMMER V auch die Abscheidung von edlen und nicht-edlen Schichten sowie komplexen, mehrschichtigen Strukturen. Das Werkzeug wurde entwickelt, um eine breite Palette von Substraten zu unterstützen, einschließlich Silizium, Metalle und andere Materialsysteme. HUMMER V ist eine ideale Wahl für jede Anwendung, die eine Abscheidung organischer und anorganischer Materialschichten auf verschiedenen Substraten erfordert. ANATECH/TECHNICS HUMMER V bietet durch seine einzigartigen Ionenquellen und seinen niedrigen Strombetrieb gleichmäßige Schichten mit verbesserter Haftung und wiederholbaren Prozessen. Mit seinem breiten Spektrum an Betriebsparametern ist ANATECH HUMMER V eine hervorragende Bereicherung für eine Vielzahl von Anwendungen und bietet die Möglichkeit, eine Vielzahl von Materialien mit einer konsistenten, einheitlichen Schicht abzulegen.
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