Gebraucht ANATECH / TECHNICS HUMMER X #126411 zu verkaufen

ANATECH/TECHNICS HUMMER X Sputteranlagen sind ein vielseitiges Werkzeug zur Dünnschichtabscheidung von Metallen und Oxiden. Dieses System ist in der Lage, hochwertige Folien über weite Bereiche mit außergewöhnlicher Kontrolle über Zusammensetzung, Foliendicke und Abscheiderate herzustellen. Die Einheit besteht aus einer Vakuumkammer, einem Gaskrümmer und einer Stromversorgung. Die Vakuumkammer ermöglicht die Abscheidung auf einem Substrat unter sehr niedrigen Druckbedingungen. Die Stromversorgung liefert die notwendige Energie, um Ionen im Plasma zu erzeugen. ANATECH HUMMER X Sputtermaschine nutzt Pulsed und Direct DC Sputtering Technologie. Das gepulste DC-Sputtern beinhaltet die Änderung der absoluten Spannung, die an das Sputterziel angelegt wird, um den Ionisationsprozess im Plasma zu modifizieren und kann je nach den verwendeten Parametern sowohl für Beschichtungs- als auch für Ätzprozesse verwendet werden. Direct DC Sputtering ermöglicht die Modifikation der Filmstruktur durch kontinuierliche Modifikation des Zielsubstratpotentials unter Beibehaltung einer konstanten Filmabscheidungsrate. Um die Zerstäubungsmaterialien auf das Substrat zu verteilen, verwendet das Werkzeug ein Verfahren, das als Kathodenbögen bezeichnet wird. Dabei handelt es sich um ein Hochspannungs-elektrisches Feld, das das Material auf dem Target anordnet. Das Targetmaterial wird dann in positive und negative Ionen gesputtert, die dann auf das Substrat zugetrieben werden, wo eine Reaktion zwischen dem gemahlenen Material und den Gasatomen stattfindet, die die erforderliche Abscheidung auf dem Substrat bildet. Um eine glatte und gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten, wird der Sputterprozess mit einem Quadra Secondary Electron Optical Emission Detector (QSEC) überwacht, der die genaue Messung der Abscheidegeschwindigkeit ermöglicht. Die Anlage nutzt auch eine kleine, leistungsstarke Puls-Magnetron-Quelle (PMS), um exotischere Materialien abzulegen, als TECHNICS HUMMER X allein bereitstellen kann. HUMMER X ist außerdem mit einem computergesteuerten Endpunktdetektionsmodell ausgestattet, um die Fertigstellung der gewünschten Filmdicke innerhalb der vorgegebenen Parameter am Ende des Sputterabscheidungsprozesses sicherzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die hohe Vielseitigkeit der Geräte die Kompatibilität eines breiten Spektrums an optionalem Zubehör für eine Vielzahl von Abscheideprozessen. Kurz gesagt, ANATECH/TECHNICS HUMMER X Sputtersystem ist ein innovatives Werkzeug, das eine präzise Kontrolle über Folienabscheidungsparameter bietet, einschließlich Foliendicke, Zusammensetzung und Rate. Sein vielseitiges Design ermöglicht den Einsatz einer Vielzahl von optionalem Zubehör und seine computergesteuerte Endpunkterkennungseinheit sorgt für höchste Präzision. Mit all diesen Eigenschaften kombiniert, ist ANATECH HUMMER X eine ideale Lösung für die Dünnschichtabscheidung von Metallen und Oxiden.