Gebraucht ANATECH / TECHNICS HUMMER X #9307601 zu verkaufen

ID: 9307601
Sputtering coater.
ANATECH/TECHNICS HUMMER X ist eine Sputteranlage zum Aufbringen von dünnen Schichten auf Substraten wie Siliziumscheiben und anderen flachen Oberflächenmaterialien. Dieses System nutzt ein einzigartiges Verdampfungsverfahren, um dünne Filme bei Temperaturen zwischen 300 ° C und 800 ° C abzuscheiden. Die Einheit verfügt über eine Doppeltiegelkonstruktion, mit der zwei verschiedene Materialien gleichzeitig in die Kammer geladen werden können. Es ist eine vollautomatische Maschine mit einer integrierten Human Machine Interface (HMI), die es dem Benutzer ermöglicht, die Abscheidungsparameter wie Druck, Temperatur, Sputterleistung und andere Einstellungen zu steuern. Der Benutzer kann auch benutzerdefinierte Rezepte für bestimmte Anwendungen programmieren. Die Sputtermaschine weist eine Vakuumkammer mit Ultrahochvakuum und Hochtemperaturbetrieb auf. Hierdurch kann ein Basisdruck von 10-6 Torr ohne Verwendung einer Kryopumpe erreicht werden. Das Kammerdesign zeichnet sich zudem durch eine hohe räumliche Auflösung mit 11 "Source-to-Substrat-Abstand aus, was eine präzise Kontrolle der Gleichmäßigkeit und Dicke der Folie ermöglicht. Aufgrund der doppelten Tiegelkonstruktion ermöglicht das Werkzeug die gleichzeitige Abscheidung von zwei verschiedenen Materialien, so dass Benutzer mehrschichtige Stapel mit unterschiedlicher Zusammensetzung und Dicke erstellen können. ANATECH HUMMER X umfasst außerdem mehrere Sicherheitsmerkmale, wie einen Verriegelungssicherheitsschalter und einen Druckschalter, für verbesserte Sicherheitsvorkehrungen. Die Anlage ist zudem mit einem ULPA-Filter ausgestattet, der sicherstellt, dass 99,97% der Partikel größer als 0,3 Mikrometer herausgefiltert werden. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, eine Temperaturgleichförmigkeit von ± 1 ° C beizubehalten und eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Substratoberfläche zu gewährleisten. Insgesamt ist TECHNICS HUMMER X eine leistungsstarke Sputterausrüstung mit einer Vielzahl von Funktionen, die für die Abscheidung hochwertiger Dünnschichten auf verschiedenen Substraten entwickelt wurden. Die Doppeltiegelkonstruktion ermöglicht die gleichzeitige Abscheidung mehrerer Materialien und bietet Anwendern eine höhere Flexibilität für ihre Beschichtungsanforderungen. Das System umfasst auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie einen Verriegelungssicherheitsschalter und einen Druckschalter, die eine sichere Umgebung für seine Betreiber gewährleisten. Mit seiner hochpräzisen Temperaturregelung und der hochauflösenden Abscheidungsregelung ist HUMMER X eine ideale Einheit für Dünnschichtanwendungen.
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