Gebraucht APPLIED VISION ARx10 #9358080 zu verkaufen
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ID: 9358080
Weinlese: 1995
Sputtering system
With pure Zirconium and Silicon targets
(10) IST Lenses
Power supply:
3x110 V, 3 Phase (Main supply)
220 - 240 V, Single phase
1995 vintage
.
APPLIED VISION ARx10 ist eine Sputteranlage, die speziell für Forschungs- und Entwicklungszwecke entwickelt wurde. Es verfügt über eine Kombination aus einzelnen und zwei Energiequellen, die vielseitige Sputteranwendungen ermöglichen. Die Konfiguration des Systems soll die effiziente Verarbeitung verschiedener Substrate wie Glas, Metalle und Halbleitermaterialien ermöglichen. ARx10 hat eine maximale HF-Leistung von 10kW, einen Abstandsbereich von 90mm-200mm und eine Arbeitsumhüllung von 500mm (x) -325mm (y) -150mm (z), um Substrate unterschiedlicher Größe aufzunehmen. Der Drehmomentleistungsabschnitt verwendet drei Schrittmotoren, um Theta und Phi zur präzisen Steuerung des Sputterwinkels zu steuern. Es verfügt über eine Hochvakuumkammer, die von zwei Hubpumpen, einer Turbopumpe und einer mechanischen Pumpe umgeben ist. Eine unabhängige Differentialpumpeinheit ermöglicht die Sputterabscheidung auf Substraten in unterschiedlichen Druckbereichen für unterschiedliche Sputteranwendungsbedingungen. Eine automatisierte Substrathandhabungsmaschine bietet dem Anwender eine umfassende Kontrolle über den Sputterprozess. Die erweiterten Steuerungsfunktionen ermöglichen es dem Benutzer, Parameter wie Gasfluss, Einfallswinkel und Strahlleistung während des Sputterns zu überwachen und zu ändern. Die Temperatur der Kammer wird durch ein aktives Temperaturregelwerkzeug konstant gehalten. Zusätzlich ist die Anlage mit einem motorisierten Roboterarm ausgestattet, um den Probentransfer zu erleichtern. APPLIED VISION ARx10 verwendet eine Reihe von Sputtertechniken, einschließlich Unwuchtsputtern, Schattenmaskensputtern, Kontaktsputtern und Co-Sputtern, um die effiziente und präzise Abscheidung einer Vielzahl von dünnen Filmen mit überlegenen Hafteigenschaften zu ermöglichen. Das Modell verfügt auch über eine magnetische Medienwechselausrüstung, die einen schnellen und einfachen Medien- und Substrataustausch ermöglicht. Die kompakte Größe und das flexible Design des Systems machen es ideal für den Einsatz im Labor oder in der Produktion. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche, umfassenden Steuerungsfunktionen und einer effizienten Medienhandhabungseinheit bietet ARx10 eine umfassende Lösung für Sputteranwendungen.
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