Gebraucht BALZERS 450 #170848 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 170848
Wafergröße: 3"-4"
Sputtering system, 3"-4"
Process: large targets (~9"x5") in a sideways-sputter configuration
Targets sputter inward onto a rotating drum.
Pallets: 3" and 4" wafers.
Drum: Raises vertically out of the top of the chamber
Hydraulic lift: Failure, but using an external hoist to open the chamber
(3) Target slots: Aluminum, Tungsten, Silicon,
Fourth slot is currently set up to perform an RF etch of the substrates and drum
System has never seen any gold or photoresist inside the chamber
Process gas: Argon
Vent gas: Nitrogen
Cryo pump: base pressure of ~5e-7 torr. (~8 hours to pump out)
(2) Power supplies
RGA: 1-100 AMU
Software
PC: Windows 98
Currently installed in a fab.
BALZERS 450 ist eine Sputteranlage von Leybold Optics, einem weltweit führenden Hersteller von optischen Komponenten und Systemen. Das System ist für eine Vielzahl von industriellen, wissenschaftlichen und Forschungsanwendungen konzipiert, einschließlich der Herstellung von hochleitfähigen Beschichtungen auf Oberflächen, die Korrosion, Abrieb und anderen Umweltfaktoren ausgesetzt sind. 450 besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Sputterkammer, einer Pumpstation und einer Abscheideeinheit. Die Sputterkammer hat ein Volumen von vierhundert fünfzig Litern und ist aus Edelstahlmaterial mit Molybdän und Platin beschichteten Oberflächen aufgebaut. Die Kammerwände sind mit abnehmbaren Reflektoren und Halterahmen für Vakuumdichtungen ausgekleidet. Dies ermöglicht ein gleichmäßiges Sputtern und eine hohe Wiederholbarkeit bei guter Prozessoptimierung. Die Kammer enthält außerdem ein rotierendes Target und eine einstellbare Hubhöhe, mit der Abscheideparameter eingestellt werden können, ohne das Target zu ersetzen. Die Pumpstation umfasst eine öldichte Drehschieberpumpe, einen mechanischen Booster und Hochvakuumpumpen. Dies gewährleistet eine hervorragende hohe Leistung bei einer Pumpleistung von bis zu sechsundneunzig Kubikmetern pro Stunde und einem normalen Betriebsdruck von bis zu einem TSV. Die Abscheidemaschine ist dagegen dazu ausgelegt, das Zielmaterial mit kontrollierter Geschwindigkeit auf das Substrat aufzusputtern. Dies wird durch die Verwendung eines Kollimators und eines Targetverschlusses zur Fokussierung der sputternden Ionenstrahlen sowie eines Gasströmungswerkzeugs erreicht, um eine perfekte Stöchiometrie des abzuscheidenden Materials zu gewährleisten. BALZERS 450 Sputteranlage bietet eine breite Palette von Abscheidungsprozessen von hochdichten optischen bis feinkörnigen texturierten Oberflächen. Darüber hinaus bietet es ein automatisiertes Prozesssteuerungsmodell mit optionaler Echtzeitüberwachung, das eine gleichbleibende Produktqualität bei geringeren Prozesskosten ermöglicht. Darüber hinaus bieten die konstruierten Komponenten eine zuverlässige Leistung, die zu einer höheren Prozesswiederholbarkeit und Rentabilität führt. 450 ist eine sichere und zuverlässige Ausrüstung, die den Anforderungen anspruchsvoller industrieller, wissenschaftlicher und Forschungsanwendungen gerecht wird.
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