Gebraucht BALZERS 450 #9241801 zu verkaufen
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ID: 9241801
Co-sputtering system
(3) DC Power supplies
RF Supply
Back sputter
Water cooling / Heat manifold
Cryo / Compressor / Mechanical pump.
BALZERS 450 ist eine Hightech-Sputteranlage, mit der verschiedene Oberflächen mit ultradünnen, gleichmäßigen Schichten beschichtet werden. Dieses System bietet aufgrund seiner kompakten Abmessungen und Universalität vielfältige Möglichkeiten für Werkstoffforscher und Ingenieure gleichermaßen. 450 bietet erstklassige Leistung in einem mittelgroßen Paket. Diese stotternde Einheit verwendet einen Quadrupol-Magnetron-Traubenquellmechanismus, bis zu vier verschiedenen Zielen erlaubend, innerhalb desselben Raums verwendet zu werden. Dies macht es ideal für die Abscheidung von Mehrkomponentenschichten mit hoher Gleichmäßigkeit. BALZERS 450 bietet Schnelllösezielklemmen und schnelle Vakuumdichtungen, die es dem Anwender ermöglichen, die Ziele einfach auszutauschen und die Vakuumkammer aufrechtzuerhalten. Es wird typischerweise in der Produktionsumgebung zur schnellen, zuverlässigen Schichtabscheidung verwendet. 450 verfügt auch über eine High-Power-Einheit mit bis zu 3 kW in Gleichstrom und gepulste Leistung zu laufen. Dadurch lassen sich außergewöhnlich gleichmäßige, hoch haftende und einzigartige Schichtcharakteristiken erzielen. Die absolute Druckbilanz des Geräts wurde minimiert, so dass es den Vakuum Ion Deposition (VID) Prozess zu erreichen. Dieses Verfahren gewährleistet, dass auch bei reduzierten Substrattemperaturen hochwertige, dicke Schichten abgeschieden werden. BALZERS 450 wurde mit einer Multi-Gas-Quelle entwickelt, die mit unabhängiger Durchflussregelung für jedes Bauteil leicht einstellbar ist. Dies ermöglicht eine hohe Flexibilität bei der Erstellung komplexer Ablagerungen. Die Vorrichtung ist auch in der Lage, zwei verschiedene Arten von Substrat gleichzeitig zu handhaben, was die Beschichtung komplexer Oberflächen mit Düsen, Transistoren und anderen Bauteilen mit höchster Genauigkeit ermöglicht. Schließlich ist 450 mit fortschrittlicher Automatisierung für die SPS-Steuerung und angeschlossene Prozessleitsysteme wie IPM, SCADA oder Fieldbus ausgestattet. Dies ermöglicht die Programmierung spezifischer Prozessrezepte und eine einfache Überwachung des Prozessstatus. Abschließend ist BALZERS 450 eine leistungsstarke, hochpräzise Sputtermaschine. Es ist ein kompaktes, effizientes Gerät, das die schnelle, wiederholbare Abscheidung ultradünner, gleichmäßiger Schichten auf verschiedensten Oberflächen ermöglicht. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für Materialforscher und Ingenieure, die eine präzise, hochwertige Schichtabscheidung benötigen.
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