Gebraucht BALZERS Circulus M 95/12 #9137154 zu verkaufen
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ID: 9137154
Sputtering systems
Turbo pump control cabinet
Pinnacle control cabinet
C-Gun control cabinet
Transformer
Handling system
POLYCOLD Cryopump
Touch screen coating machine:
Single plate static coating system
(12) Cavities
(10) Coating chambers
(2) Material cavities
Magnetic disk coating machine:
Double-sided vacuum coating
Magnetic materials to 130mm, 95mm, 84mm or 65mm
Aluminum alloy / Glass disk substrate.
BALZERS Circulus M 95/12 ist ein anspruchsvolles, aber einfach zu bedienendes Sputtergerät zum Ablegen von dünnen Folien für eine Vielzahl von Anwendungen. Dieses System verfügt über einen hochpräzisen willenlosen elektromagnetischen Generator, der in der Lage ist, bei Energien bis 95 keV zu sputtern, und ein magnetisches Feld, das bis zu 12 Tesla einstellbar ist, wodurch Benutzer genau die für ihren Prozess benötigten Abscheidungsparameter definieren können. Der Generator ist mit einer drehbaren Kathode verbunden, die für eine verbesserte Homogenisierung des zerstäubten Materials auf dem Substrat verdrehbar ist. Das selektive Sputtern kann durch den optionalen Einsatz zusätzlicher, um die Kathode angebrachter Elektroden weiter verbessert werden. Das Gerät ist für einen hohen Produktionsdurchsatz ausgelegt und verfügt über eine maximale Substratgröße von 200 x 200 mm mit einer kreisförmigen Öffnung bis 12,5 cm Durchmesser. Es ist mit einer GFC-Maschine (Gas Flow Controller) hoher Kapazität mit unabhängiger Gas- und Druckregelung ausgestattet, die eine sehr präzise Steuerung des Sputterprozesses ermöglicht. Dieses Tool bietet auch hochpräzise Spannungsabtastfunktionen und bietet variable Temperatur- und Leistungsmodulationen durch sein optionales Autodeposition-Kit, was die Homogenität auf den Substraten weiter verbessert. BALZERS Circulus M 95/12 eignet sich für eine breite Palette von Sputteranwendungen, einschließlich magnetischer Aufzeichnungsmedien, Dünnschichttransistoren, Kondensatoren, High-End-Optik und MEMS-Bauelementen. Diese Anlage ist sehr zuverlässig und robust, unterstützt durch eine 24-monatige Teile- und Arbeitsgarantie und ist nach CE- und UL-Standards zertifiziert. BALZERS Circulus M 95/12 ist mit seiner benutzerfreundlichen Schnittstelle, digitalen Leitstelle und automatisierten Ereignisprotokollierung eine ideale Maschine für Forschung, Prototyping und Produktionssputteranwendungen.
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