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BALZERS Corona ist eine High-End-Sputteranlage, die für Anwendungen entwickelt wurde, die eine präzise Kontrolle der hochpräzisen Beschichtungsdicken auf einem breiten Spektrum von Substraten erfordern. Dieses System wurde entwickelt, um den Anforderungen der anspruchsvollsten technischen Anforderungen in der optischen Beschichtung gerecht zu werden. Es besteht aus einer Vakuumkammer, Sputterquellen, Zielhalter, Abscheidungsquelle Fettabsaugung, Rotationsaggregate, Absperrschienen und Bewachung. Die Vakuumkammer besteht aus hochbeständigem Edelstahl und ist mit einer Evakuierungseinheit ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass das Substrat nur sauberen Hochvakuum-Prozessgasen ausgesetzt ist, die es vor Verunreinigungen und anderen Verunreinigungen schützen. Die Innenwände der Kammer sind mit Aluminium- und Bornitrid-Fliesen ausgekleidet, die energetische Partikel absorbieren und die Rückstreuung von Ionen während des Beschichtungsprozesses reduzieren. Die Sputterquellen sind mit dielektrischer und magnetischer Abschirmung hergestellt, die eine überlegene Prozessstabilität erleichtert und den Kontakt mit der abgeschiedenen Folie reduziert. Diese Maschine ist in der Lage, Metalle, Oxide, Nitride und Karbide zu zerstäuben. Jede Sputterquelle kann unabhängig voneinander eingestellt werden, um eine Zielkrümmung und eine Substratrotation zu ermöglichen. Zielhalter sind so konzipiert, dass sie eine Vielzahl von Größenzielen halten und einfache, saubere Entfernungen ermöglichen. Auf dem Substrat können mittels Fettabsaugung Abscheidungsquellen montiert werden, die eine sehr gleichmäßige Schichtdicke ergeben. Rotationsbaugruppen werden verwendet, um das Substrat während des Abscheidungsprozesses drehen zu können, wodurch die Deckungsqualität, die Ebenheit der Oberfläche und die Gleichmäßigkeit der Dicke optimiert werden. Es sind auch Absperrbahnen enthalten, mit denen der Benutzer feststellen kann, wann der Abscheidevorgang beendet werden soll. Schließlich ist eine Bewachung vorgesehen, um versehentliches Spritzen und Stößen auf das Substrat während des Beschichtungsprozesses zu verhindern. Das Sputterwerkzeug von Corona ist ideal geeignet, um präzise, wiederholbare Ergebnisse für hochpräzise Beschichtungen zu liefern. Mit seinen gut gestalteten Komponenten ergibt dieses Gut eine hervorragende Haftung und genaue optische Eigenschaften. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für anspruchsvolle Projekte, die qualitativ hochwertige Ergebnisse erfordern.
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