Gebraucht BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #9248388 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9248388
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2007
Physical vapor deposition system, 6"
Can be configured for 4"-8"
Supports thin wafers and warped wafers
(6) Process modules:
Degas module
Au (gold) sputter
Ti (titanium) sputter
Ni (nickel) sputter
Pd (palladium) sputter
Ag (silver) sputter
Includes:
(2) Load lock cassette stations
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
CTI-CRYOGENICS Cryo pumps on PVD chambers
ADVANCED ENERGY Pinnacle DC power supplies
(2) User interface stations: Front and rear
Foreline vacuum pump
Control rack:
Power supplies
Controllers
AC Power distribution
Signal light tower
2007 vintage.
BALZERS/EVATEC Clusterline 200 ist eine spezialisierte Sputter-Deposition-Ausrüstung für industrielle, akademische und Forschungsanwendungen. Es wurde von der Schweizer Firma EVATEC entwickelt und nutzt eine vertikale Konfiguration, die eine Vielzahl von Beschichtungskonfigurationen ermöglicht. Das System besteht aus einem Cluster von Sputterquellen, die eine präzisere Kontrolle der Gleichmäßigkeit der Dünnschichtdicke über große Flächen ermöglichen. Seine Kammern können programmiert werden, um jede Art von Beschichtungen zu schaffen, von hochreflektierenden Schichten bis hin zu mehr Schutzschichten. Die EVATEC Clusterline 200 umfasst außerdem eine HF-Paarplasmaquelle, eine optische Emissionsüberwachung zur Abscheidungsratenkontrolle und einen In-situ-Endpunktdetektor. Die Multi-Source-Konfiguration von BALZERS Clusterline 200 bietet mehrere Vorteile, darunter überlegene Haftung, Einheitlichkeit und Reproduzierbarkeit. Es bietet auch eine verbesserte Verfahrenshomogenität, die die Abscheidung dickerer Schichten mit exakter Kontrolle des Dickenprofils ermöglicht. Diese Funktion bietet mehr Flexibilität in Bezug auf die Auswahl der Materialien, so dass eine Vielzahl von Größen, Materialien, Formen und Topographien. Die Unter-Millimeter-Genauigkeit von Clusterline 200 ermöglicht bessere Abscheidungsergebnisse mit glatteren, flacheren und sogar glatteren Oberflächen. Zusätzlich reduziert das Gerät durch seine patentierte Beschichtungstechnologie die Schichtdicke Ungleichmäßigkeiten, die durch zerstäubte Partikel verursacht werden können. Seine hohen Temperatur- und Substratheizfähigkeiten sowie optimierte Gasströme ermöglichen die Abscheidung von Filmen mit hohen optischen Leistungen. Darüber hinaus kommt die Maschine mit einer Vielzahl von Elektroden für verschiedene Abscheidungsziele. Dies bedeutet, dass der Anwender das für seine Anforderungen am besten geeignete Material auswählen kann, während er die Prozessparameter während und nach jedem Zyklus überwacht. BALZERS/EVATEC Clusterline 200 ist unglaublich einfach zu bedienen und mit einer Reihe computerfreundlicher Software-Tools kompatibel. Dies ermöglicht es Benutzern, das Tool fernzuüberwachen und zu steuern, wodurch ihnen Zugriff auf granulare Prozessdaten gewährt wird. Ein Wartungs-Asset stellt sicher, dass der Ablagerungsprozess während des gesamten Betriebs im abgesicherten Modus bleibt. Hohe Qualitätsergebnisse und verbesserte Produktionsleistung sind eine Garantie mit EVATEC Clusterline 200.
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