Gebraucht BALZERS / EVATEC MSP 1000 #9164752 zu verkaufen

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ID: 9164752
High precision vertical sputtering systems Light source type: Halogen PEM Model: VON ARDENNE / VEECO Valves Water system: Cooling (Constant at 80° F) PFEIFFER TPH 2101P Turbo pump PFEIFFER UNO 120 Rough pump PFC / PFC 552 HC POLYCOLD Waveform generator Drive system: Belt drive Equipped with OTM DC Power supply: MDX2 AC Power supply: PE2 Includes: (4) POLYCOLD Cool flow systems (Water to water heat exchanger) 2004-2005 vintage.
BALZERS/EVATEC MSP 1000 Sputterausrüstung ist ein High-End-System für Dünnschichtbeschichtung auf einer Vielzahl von Materialien entwickelt. Es ist eine Mehrkammereinheit, die es ermöglicht, mehrere Abscheidungsquellen bei der Sputterabscheidung zu verwenden. Diese Maschine ist die erste ihrer Art, die einen sekundären Elektronenemissionsmonitor enthält, der eine optimale Leistung gewährleistet. Das Werkzeug verwendet einen automatischen Auswurfmechanismus, der eine einfache Übertragung von Substraten ermöglicht. Die Anlage verfügt über vier austauschbare Sputterquellen, die jeweils durch Dicke, Zusammensetzung oder mehrschichtige Abscheidung beschichtet werden können. Die Quellen sind Stickstoff/Argon-Gaskombinationen und haben eine Sputtergeschwindigkeit von bis zu 24 mbar. EVATEC MSP 1000 verfügt über eine Prozeßreaktionskammer mit einer Belastung, die bis zu sechs Substrate gleichzeitig hält. Das Modell kann bis zu 500x500 mm Substrate aufnehmen und hat auch die Fähigkeit, größere Substrate mit zusätzlichen Zubehörkomponenten zu beschichten. Die Substrattemperatur kann von 25 ° C bis 800 ° C geregelt werden. Der Abscheideprozess wird mit einer fortschrittlichen mikroprozessorbasierten Steuereinheit überwacht und gesteuert. Diese Einheit ist mit einem PC verbunden und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Abscheidungsparameter. Die Ausrüstung ist gebaut, um eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten und Kontaminationen zu reduzieren, und beinhaltet ein balgdichtes Absperrventil und einen Vakuumlecksucher. Das System wird mit einer optionalen automatischen Gasfördereinheit zur genauen und bequemen Kontrolle der Gasgemische geliefert. Die Gasfördermaschine ist mit einer Gasleitung mit dem Reaktionsraum verbunden. Diese Leitung ist ebenfalls mit den Sputterquellen verbunden, wodurch ein manueller Gasaustausch verhindert wird. Die Sputterquellen verfügen über einen Schrittmotor und einen Encoder zur präzisen Positionsregelung. BALZERS MSP 1000 ist ein hochentwickeltes Sputterwerkzeug zur Dünnschichtabscheidung. Mit seinen reaktiven Sputterquellen, Ablagerungssteuerungsfunktionen und Sicherheitsmaßnahmen kann dieses Gut verschiedene Arten von Ablagerungsprozessen verarbeiten. Seine fortschrittliche Steuereinheit, das Gasliefermodell und andere Funktionen gewährleisten eine genaue und effiziente Abscheidung mit minimaler Kontamination.
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