Gebraucht BALZERS LLS 801 #293795371 zu verkaufen
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ID: 293795371
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1988
Sputtering system, 6"
POLYCOLD Cryopump
Vacuum pump
1988 vintage.
BALZERS LLS 801 ist eine Sputteranlage, die eine hohe Leistung in Kombination mit hervorragender Benutzerfreundlichkeit und Zuverlässigkeit bietet. Dieses System soll die Herstellung komplexer Geräte mit hoher Qualität und Ausbeute erleichtern. Das sorgfältig gestaltete Kammerdesign fördert effizientes Sputtern und maximale Betriebszeit. In die Vakuumkammer wurden ausgewogene Ionenquellen integriert, um präzise Richtungen und Gleichmäßigkeit von magnetischen Kraftlinien zu erreichen, was die wiederholbaren physikalischen und elektrischen Eigenschaften auf der Folienoberfläche stark erhöht. Dies ermöglicht eine hohe Reproduzierbarkeit der Sputterergebnisse. Die Dual-Ionen-Quelle ermöglicht die Verwendung sowohl reaktiver als auch nicht-reaktiver Sputterprozesse. Dies ist besonders vorteilhaft bei der Abscheidung komplexer Filmsysteme, die eine genaue Kontrolle der Zusammensetzung und Abscheidegeschwindigkeit erfordern. Das Gerät bietet auch die Flexibilität des Betriebs in den Chargen-, Inline- und automatisierten Produktionsprozessen. Das robuste Netzteil bietet eine hervorragende Spannungs-, Strom- und Wattsteuerung sowie eine präzise Prozesssteuerung. Heizelemente befinden sich innerhalb der Kammerwände, um genaue Temperaturen für jeden Filmabscheidungsschritt zu gewährleisten. Dies gewährleistet präzise Folieneigenschaften bei minimaler Dickenänderung und höchster Wiederholbarkeit. Bemerkenswert ist auch die präzise Automatisierung der LLS 801. Manuelle Sputtersysteme erfordern eine häufige Kammerreinigung und mehrere Sputterschritte, was den Durchsatz drastisch reduzieren kann. Die automatisierten Abscheideprozesse ermöglichen jedoch nicht nur eine leichte Parameteränderung und einen höheren Durchsatz, sondern reduzieren auch Verschmutzungen und Prozesszeiten. BALZERS LLS 801 bietet das Beste aus beiden Welten, wenn es um die Sputterproduktion geht. Es bietet präzise Automatisierung, Spitzenleistung und exzellente Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit. Diese Maschine ist perfekt für jeden Produktionsprozess, der präzise physikalische, elektrische und/oder optische Eigenschaften und eine komplexe Abscheidungsprozesssteuerung erfordert.
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