Gebraucht BALZERS LLS 801 #9171464 zu verkaufen
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ID: 9171464
Wafergröße: 6"
Barrier metal sputtering system, 6"
Water heater
Water manifold
Strong earth magnet
Power supply
(2) Cryo compressors.
BALZERS LLS 801 Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches Vakuum-Bearbeitungswerkzeug zur Herstellung von Schutzbeschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten. Es ist dazu ausgelegt, dünne Schichten von Targetmaterialien auf die Oberfläche eines Substrats abzuscheiden, um eine optisch ansprechende, chemisch inerte und mechanisch haltbare Schutzschicht zu erzeugen. Das Sputtersystem LLS 801 baut auf der bereits renommierten LLS-Systemfamilie von BALZERS auf, da es verbesserte Einheitlichkeits- und Abscheidegeschwindigkeiten bei gleichzeitig überlegener Prozesswiederholbarkeit bietet. BALZERS LLS 801 Sputtereinheit besteht aus mehreren wichtigen Teilsystemen, die Folgendes umfassen: * HF-Stromversorgung: Dieses Subsystem bietet ein Mittel, um HF-Leistung zu erzeugen, die zum Sputtern erforderlich ist. * Target Magnet Assembly: Dieses Teilsystem umfasst zwei Elektromagnete und Steuerelektronik, die verwendet werden, um eine stabile attraktive Kraft im Spaltbereich zwischen dem Ziel und dem Substrat aufrechtzuerhalten. * Zielbaugruppe: Die Zielbaugruppe beherbergt das Zielmaterial und hat eine angeschlossene HF-Elektrode. * Substratbaugruppe: Die Substratbaugruppe enthält den Substrathalter und eine geerdete Abschirmung. * Vakuummaschine: Dieses Teilsystem besteht aus einer Diffusionspumpe, einem Schruppventil und einer Turbopumpe. Das Funktionsprinzip des Sputterwerkzeugs LLS 801 basiert auf dem physikalischen Sputterprozess. Das HF-Netzteil erzeugt HF-Leistung aus einer externen Quelle, die dann direkt mit der Zielbaugruppe gekoppelt wird. Dadurch entsteht eine Anziehungskraft zwischen dem Target und dem Substrat, so dass das Targetmaterial abgetragen und anschließend auf das Substrat abgeschieden wird. Da die HF-Stromversorgung typischerweise in der Nähe von 13,56 MHz betrieben wird, befinden sich die Targets nahezu konstant im Dampf-Plasma-Zustand, was dazu beiträgt, die Gleichmäßigkeit und Abscheidungsrate, die von BALZERS LLS 801 Sputtering Asset bereitgestellt wird, weiter zu erhöhen. Darüber hinaus dienen die beiden Elektromagnete innerhalb der Zielmagnetanordnung dazu, eine stabile Anziehungskraft zwischen dem Target und dem Substrat aufrechtzuerhalten, was dazu beiträgt, jedes Mal eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten. Die Magnete dienen auch dazu, die Verlustleistung im Target zu reduzieren, wodurch das Sputtermodell LLS 801 besonders energieeffizient wird. BALZERS LLS 801 Sputterausrüstung ist sehr vielseitig, da sie in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien zu sputtern. Dieses System ist weit verbreitet in Branchen wie medizinische Geräteherstellung, elektronische Komponentenherstellung, Optikproduktion und Luft- und Raumfahrtbeschichtung. Insgesamt ist die Sputtereinheit LLS 801 ein außergewöhnliches Werkzeug zur Herstellung dünner Schutzschichten auf einer Vielzahl von Substraten. Es ist eine zuverlässige und energieeffiziente Sputtermaschine, die in der Lage ist, gleichmäßige dünne Filme schnell und effizient jedes Mal abzuscheiden. Es hat den zusätzlichen Vorteil, zwei Magnete zu haben, die eine konstante Anziehungskraft aufrechterhalten, um eine optimale Abscheidungsgleichmäßigkeit und -geschwindigkeit zu gewährleisten.
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