Gebraucht BALZERS LLS 801 #9199165 zu verkaufen

BALZERS LLS 801 Sputterausrüstung ist ein vielseitiges Werkzeug entwickelt, um eine effiziente und präzise Abscheidung von dünnen Schichten mit hohen Sputterraten zu bieten. Das System ist mit einem Drei-Taschen-Revolver ausgestattet, der es ermöglicht, bis zu drei Materialien gleichzeitig mit unterschiedlichen Sputterraten abzuscheiden, was zu einer homogenen Dünnschichtabscheidung führt. Die Lastverriegelungseinheit mit hoher Kapazität ermöglicht den schnellen Ein- und Ausbau von Substraten und sorgt für eine verbesserte Effizienz. Die Maschine wird durch eine große Arbeitskammer weiter ausgebaut, so dass bis zu vier Substrate mit einem Durchmesser von maximal 180 mm verarbeitet werden können. LLS 801 verfügt über einen modularen Aufbau, der eine breite Palette von Konfigurationen ermöglicht, um spezifische Anforderungen zu erfüllen. Es verwendet eine dreistufige Turbo-Vakuumpumpe, um einen Basisdruck von 7x10-8 mbar zu erreichen. Das Werkzeug ist mit einem 85-MHz-HF-Netzteil ausgestattet, das ultrahohe Leistungsstufen von bis zu 800W für optimale Folienqualität und Sputterrate ermöglicht. Ein optionales Pulsnetzteil kann auch für höhere Abscheideraten verwendet werden. BALZERS LLS 801 nutzt ein automatisiertes Mikrowellensubstratheizmodul, das eine präzise homogene Erwärmung bis 400 ° C ermöglicht. Dieser Prozess wird durch einen Turbulenzgenerator weiter verbessert, der bei der Verhinderung von Knoten und der Sicherstellung einer gleichmäßigen Zielverwendung hilft. Die Änderung des Sputtermodus ist durch die Einbindung eines Circle Sweep Magnetic Confinement und einer Open Flux Exception möglich, die die Abstoßung von Partikeln reduziert und die Linearität von Qualität und Filmabdeckung verbessert. LLS 801 ist eine vielseitige und anspruchsvolle Sputteranlage, die effiziente und präzise Ablagerung von dünnen Folien mit gewünschten Eigenschaften produzieren kann. Der modulare Aufbau, mehrere Konfigurationen und verbesserte Funktionen ermöglichen es, die Anforderungen für eine Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen. BALZERS LLS 801 ist mit seinem automatisierten Mikrowellen-Substrat-Heizmodul, dem effizienten Load-Lock-Modell und den extrem hohen Leistungsstufen eine ideale Lösung für Dünnschichtabscheidungen.