Gebraucht BALZERS LLS 801 #9240378 zu verkaufen
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ID: 9240378
Wafergröße: 6"
Metal sputtering system, 6"
Chemicals: Cr, TiW, NiV, Au, SQ
On board water pump.
BALZERS LLS 801 ist eine Sputteranlage, die für die Herstellung einer Vielzahl von dünnen Folien und Beschichtungsanwendungen entwickelt wurde. Es verwendet die kathodische Bogenabscheidungstechnologie (CAD), die hohe Abscheideraten mit ausgezeichnetem Materialtransfer, hoher Filmgleichförmigkeit und hochpräziser Steuerung von Filmparametern bietet. Dieses System verfügt über hochmoderne Komponenten und intuitive Software, die es zu einer zuverlässigen, robusten und hocheffizienten Wahl für Forschung und Produktion macht. LLS 801 ist eine einfache, kompakte Bauweise, die auf engstem Raum installiert werden kann. Es verfügt über integrierte Vakuumkomponenten, einschließlich einer Turbo-Molekularpumpe, die eine saubere Umgebung und ein hohes Vakuum aufrechterhalten kann. Die Einheit umfasst auch einen Gaskasten mit Ventilen und Rohrleitungen, die die Einleitung von Prozessgasen in die Vakuumkammer ermöglichen. Zusätzlich kann die Temperatur der Kammer durch Erwärmen der Wände eingestellt werden. Die Maschine wird durch eine fortschrittliche, PC-basierte Benutzeroberfläche mit intuitiven Programmier-, Visualisierungs- und Datenerfassungswerkzeugen angetrieben. Dies kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Parametern, die den Sputterprozess beeinflussen, wie Leistungspegel, Zielzusammensetzung, Substrattemperatur, Quellgasdurchfluss usw. genau zu steuern und zu überwachen. Dies trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit innerhalb der zerstäubten Folien zu gewährleisten und die Wiederholbarkeit zu verbessern. Das Werkzeug eignet sich ideal zur Herstellung von dünnen Schichten für eine Vielzahl von Materialien, darunter Halbleiter, Dielektrika, Metalle, Isolatoren und Polymere. Die Folienabscheidungsdicke, Zusammensetzung und Struktur können feinjustiert werden, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen macht, von Optoelektronik und Anzeigegeräten bis hin zu Energiespeichern und anderen mikroelektronischen Geräten. BALZERS LLS 801 Asset bietet Anwendern die Flexibilität, hochgradig kundenspezifische Dünnfolien zu erstellen. Darüber hinaus bietet das Modell eine präzise Kontrolle aller Ablageparameter und eine hohe Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. Das Gerät ist einfach zu bedienen, mit benutzerfreundlicher Software und intuitiver grafischer Benutzeroberfläche (GUI). Dadurch eignet es sich hervorragend für Forschungs- und Produktionsumgebungen.
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