Gebraucht BALZERS LLS 802 #293813030 zu verkaufen

BALZERS LLS 802
Hersteller
BALZERS
Modell
LLS 802
ID: 293813030
Wafergröße: 6"
Physical Vapor Deposition (PVD) system, 6".
BALZERS LLS 802 ist ein fortschrittliches Sputterwerkzeug für die industrielle Produktion. Das Gerät verwendet einen HF-Generator mit geringer Leistung, um Materialien einem Elektronenstrahl auszusetzen, der dann auf ein Substrat abgeschieden wird. Dieses Sputtersystem hat eine Kammergröße von 800 mm x 400 mm und ermöglicht eine großflächige, sehr gleichmäßige, fehlerfreie Folienabscheidung. Es bietet auch eine breite Palette von Abscheidungsparametern wie Temperatur und Ausgangsleistung. LLS 802 ist ideal für das Sputtern verschiedener Dünnschichtmaterialien. Es kann dünne Filme wie Aluminium, Gold, Nickel, Kupfer und Titan abscheiden. Die Maschine umfasst auch ein zentrales Tor zur Sputterreinigung der Substrate sowie Substrathalter, Gasinjektoren und Hochfrequenz-Masseanschlüsse. Das Werkzeug kann zum Sputtern verschiedener Dünnschichten wie Dünnschichttransistoren, Elektronikbauelemente und Dünnschichtbatterien eingesetzt werden. Das Asset bietet auch Flexibilität bei Beschichtungen, da das Modell durch Änderung der elektrischen Eigenschaften auf jede Folie zugeschnitten werden kann, die aufgebracht werden muss. Das Gerät kann verwendet werden, um Dielektrikum-, Leiter- und Halbleiterfolien sowie Haftschichten, Diffusionsbarrieren, Oxidationsschichten und Folien auf gekrümmten Oberflächen aufzubringen. BALZERS LLS 802 ist auch mit einem riemengetriebenen Substrattransporter und einer Vakuumkammer mit einem geringen Basisdruck von 1,3 * 10-3 mbar ausgestattet. Dies ermöglicht einen qualitativ hochwertigen Sputterprozess in einer kontrollierten Umgebung. Das System bietet auch eine Reihe von Temperaturregelungsoptionen von 25 ° C bis 400 ° C, so dass eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen möglich ist. Die Sputtereinheit LLS 802 ist für Zuverlässigkeit und effiziente Prozesssteuerung ausgelegt. Es enthält eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie eine automatisierte Türverriegelung, Not-Aus und Notabschaltventile. Darüber hinaus bietet die Maschine eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Prozessautomatisierung, Datenerfassung und Berichtsgenerierung. BALZERS LLS 802 ist ein ideales Werkzeug zum Sputtern von Dünnschichtschichten in der industriellen Produktion. Seine vielfältigen Eigenschaften und modernsten Technologien ermöglichen es ihm, die höchsten Standards der Filmabscheidung zu erfüllen. Es wurde entwickelt, um Anwendern hohe Gleichmäßigkeit, gute Reproduzierbarkeit, fehlerfreie Schichten und effiziente Prozesskontrolle zu bieten.
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