Gebraucht BALZERS LLS 802 #9313125 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9313125
Weinlese: 1994
Load lock sputter system
Control and distribution racks
VARIAN 600DS Scroll pump
(2) Cryo compressors and line transformer
CTI-CRYOGENICS 9600 / 9700 Cryo compressor
Spare parts
Pressure:
Water: 4-7 Bars
Air: 6-8 Bars
N2 Regular: 2.5-5.0 Bars
N2 Process: 0.5-1.0 Bars
N2 Vent: 0.2-0.5 Bars
Argon: 0.5-1.0 Bars
Voltage: (3) 400 / 230 VAC, 60 A, 60 Hz, 3 Phase+N+E (Transformer supplied)
1994 vintage.
BALZERS LLS 802 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die entwickelt wurde, um fortschrittliche, effiziente Abscheideprozesse für eine breite Palette von Sputteranwendungen bereitzustellen. Dieses Gerät ist in der Lage, bis zu 8 verschiedene Sputterziele zu verwenden, was mehrschichtige Ablagerungen von bis zu 8 verschiedenen Materialien ermöglicht. Es verfügt auch über eine hohe Prozesssicherheit aufgrund seiner fortschrittlichen Stromversorgungstechnologie, die stabile, leistungsstarke Sputterprozesse gewährleistet. LLS 802 hat eine Sputterrate, die von 0,1 Mikrometer pro Stunde bis zu 0,2 Mikrometer pro Stunde eingestellt werden kann, mit hervorragender Gleichmäßigkeit und Abscheidungsrate Stabilität, zusammen mit einer Gleichmäßigkeit von > 98% für die meisten Anwendungen. Dies maximiert die Effizienz von Sputterprozessen für eine Vielzahl von Anwendungen, von dünnen Magnetfilmen bis hin zu großflächigen Displays. Das System verfügt über einzigartige Automatisierungsfunktionen mit einer vollautomatischen Lastsperre, die für mehrere Prozesse verwendet werden kann, und einer optionalen computergesteuerten automatischen Endpunkterkennung zur Präzisionskontrolle der Endpunkte des Sputterprozesses. Es verfügt auch über Fernbedienungsfunktionen, die Fernsehüberwachung während des Prozessfortschritts ermöglichen. Die Einheit ist thermisch stabil, was die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf ihrer Oberfläche gewährleistet und somit eine Gleichmäßigkeit des Abscheideprozesses ergibt. BALZERS verfügt auch über eine Inertgasversorgung, die zum Sputterätzen und Sputterabscheiden bei niedrigeren Temperaturen verwendet werden kann. Darüber hinaus verfügt das Lastschloss über einen Temperaturbereich von 20 ° C bis 1000 ° C und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Sputterbedingungen und Prozessstabilität. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine leistungsstarke Software, die eine präzise Steuerung der Sputterparameter, eine verbesserte In-situ-Prozessüberwachung und die Automatisierung mehrerer Prozesse und Endpunktsteuerung ermöglicht. Die eingebaute Vakuum-Wechselrichter-Technologie ermöglicht schnelle Ausfallzeiten sowie die Fähigkeit, das für die Sputterverarbeitung erforderliche Hochvakuum aufrechtzuerhalten und zu steuern. Insgesamt ist BALZERS LLS 802 ein leistungsstarkes und zuverlässiges Gerät mit einem umfangreichen Funktionsumfang, der es perfekt für viele Arten von Sputteranwendungen geeignet macht. Es bietet ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Genauigkeit sowie anspruchsvolle Automatisierungsfunktionen und leistungsfähige Software, wodurch die Effizienz von Abscheideprozessen verbessert und zuverlässige Sputterprozesse gewährleistet werden.
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