Gebraucht BALZERS SCD 040 #48452 zu verkaufen

BALZERS SCD 040 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung, die für die präzise Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Die Plattform ist mit fünf Prozesskammern, zwei Hauptabscheidekammern, zwei Bodenheiz- und Kühlsystemen (thermischen Systemen), einer Freiluftkühlkammer und einem hochauflösenden flachen Substrattisch ausgestattet. Diese Kammern können zur physikalischen Dampfabscheidung (PVD), zur chemischen Dampfabscheidung (CVD) und zur thermischen Verdampfungstechnik zur Metall- und dielektrischen Filmabscheidung verwendet werden. Das System bietet auch die Möglichkeit, Laserablation und niedrige Temperatur Plasma-verbesserte Abscheidung durchzuführen. Die Hauptabscheidekammern weisen Magnetrons auf, die in einem drehbaren Träger angeordnet sind. Dies ermöglicht eine wesentlich höhere Zerstäubungsgeschwindigkeit sowie die Fähigkeit, das Zielmaterial sofort ohne Kontaminationsgefahr von einer Kammer in eine andere zu überführen. Die Bodenheizungs- und Kühlsysteme verfügen über eine widerstandsfähige Wärmequelle mit Präzisionstemperaturregelung für genaue Heiz- und Kühlraten. Dieses Gerät ist in der Lage, große, dicke Substrate zu handhaben und eignet sich ideal für eine gleichmäßige Temperaturgleichförmigkeit von bis zu ± 0,2 ° C. Die interne Kühlmaschine kann leicht den idealen Temperaturbereich innerhalb der Kammern beibehalten. Die Freiluft-Kühlkammer des SCD 040 ist mit einem hochempfindlichen Thermoelement ausgestattet, um eine plötzliche Temperaturänderung innerhalb der Kammer zu erkennen. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen hochauflösenden flachen Substrattisch, der eine Parallelität in beiden Raumrichtungen zu ± 1,5 μ m gewährleistet. Diese Tabelle ist mit einer proprietären werkzeuglosen Substratspanntechnik gekoppelt, die die Zeit zum Anbringen eines Substrats vor Beginn eines Abscheideprozesses erheblich reduziert. Die Anlage bietet auch mehrere Konfigurationsmöglichkeiten für Beschichtungsmaterialien, wie Titan, Aluminiumoxid und Titannitrid zum Beispiel. Es kommt auch mit einem patentierten Stereo-bildgebenden Massenspektrometer, das Inline, Echtzeit, Mehrpunkt-Plasmadichteanalyse zur Kontrolle der Qualität und Leistung im Abscheidungsprozess ermöglicht. Schließlich ist BALZERS SCD 040 so konzipiert, dass es fernsteuerbar und feldbedienbar ist, was eine direkte Kommunikation und Konfiguration von jedem entfernten Standort aus ermöglicht. Dies macht es perfekt für Forschung und Entwicklung sowie industrielle und analytische Anwendungen.