Gebraucht BALZERS / UNAXIS LLS 900 #9006623 zu verkaufen
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BALZERS/UNAXIS LLS 900 Sputtergeräte ist eine industrielle Vakuumsputtermaschine, die für den Einsatz in Halbleiter- und anderen fortschrittlichen Nanotechnologieanwendungen entwickelt wurde. UNAXIS LLS 900 ist ein modulares Mehrkammer-Mehrpositions-Sputtersystem mit vier 4-Ziel-Sputterquellen. Jede der vier Kammern kann unabhängig voneinander arbeiten. Diese Einheit eignet sich für eine Vielzahl von Abscheideprozessen, einschließlich sequentiellem Sputtern, simultanem Sputtern und simultanen Hybridprozessen. Die Hauptkammer von BALZERS LLS 900 wird mit hochwertigem Edelstahl und Hochvakuumdurchführungen hergestellt, um einen sauberen, konsistenten und langlebigen Betrieb zu gewährleisten. Seine Innenabmessungen sind 18 "x 18" x 24 "(460mm x 460mm x 610mm). Das Kammervolumen beträgt etwa 12 Kubikfuß (340 Liter) und der Basisdruck in der Vakuumkammer 10-7 Torr (1.3e-6 Pa). Die große Arbeitsfläche der Hauptkammer wird um bis zu vier weitere Außenkammern erweitert, die jeweils eine 4-Target-Sputterquelle enthalten. LLS 900 ist mit modernster Sputtermaschinentechnologie ausgestattet. Es verfügt über integrierte Regelungssysteme, verfügt über ein hochzuverlässiges Energieversorgungswerkzeug und verwendet ausgeklügelte Messtechniken für eine präzise Prozesssteuerung. Jede der 4-Target-Sputterquellen besteht aus vier Magnetron- oder Diodenmagnetron-Sputterquellen, die auf einem rotierenden Kopf angeordnet sind, um eine hervorragende Abscheidungsgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Zur zusätzlichen Bequemlichkeit können die Targets automatisch oder manuell innerhalb des Magnetron/Diodensputterkopfes gewechselt werden. BALZERS/UNAXIS LLS 900 ist auch mit einer Vielzahl von Prozessmaterialien kompatibel, darunter Metalle, Keramiken, Legierungen, Oxide und Nitride. Die Vielseitigkeit und Flexibilität des Geräts machen es für Anwendungen in der Halbleiterherstellung, der Herstellung von Dünnschichtbauelementen, der industriellen Beschichtung und mehr geeignet. Dieses Modell wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen zu erfüllen und ist mit erweiterten Garantien verfügbar, um überlegene Leistung und Zuverlässigkeit im Laufe der Zeit zu bieten.
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