Gebraucht CANON / ANELVA 1051 #9389730 zu verkaufen

CANON / ANELVA 1051
Hersteller
CANON / ANELVA
Modell
1051
ID: 9389730
Sputtering system.
CANON/ANELVA 1051 ist eine branchenführende Sputterabscheidung, die für die physikalische Dampfabscheidung (PVD) verwendet wird. Es ist ein Singleziel-System mit einer Hochleistungsmagnetischtypluftpolsterspindel - das Berücksichtigen der hohen Leistungsfähigkeit und des einheitlichen Überzugs über große Bereiche und Substrate. Das Gerät ist mit einem 10-Quarz-Zielhalter, einer erweiterten SPS (programmierbarer Logikcontroller) mit einer grafischen Bedienoberfläche, automatischen Prozesssteuerungssystemen und verschiedenen Gassteuerungskonfigurationen wie O2, CO2, Ar und Stickstoff ausgestattet. CANON 1051 ist in der Lage, schnelle Sputterraten von bis zu 400 nm/min und eine Zielspannung von bis zu 2000 V zu erreichen. Dies macht es ideal für Substrate wie Aluminium, Edelstahl und Titan. Es bietet zweistufige Prozesse mit eingezogenen Zielen, so dass Anwender Materialien und Gase schnell wechseln können, um spezifische Leistungsanforderungen zu erfüllen. Die Maschine ist vollautomatisiert und erfahrene Bediener sind in der Lage, wiederholbare, hochpräzise Prozesse zu erreichen. ANELVA 1051 ist mit einer einstellbaren Stromversorgung und Frequenzbereich ausgestattet, die von 0-3000 Watt angepasst werden kann. Ein zusätzlicher Prozessparameter wie Druck, Gasstrom, gekühlte Spindeltemperatur steht zur weiteren Anpassung zur Verfügung. Sicherheitsmerkmale wie Niedervakuumdrucküberwachung, Selbstdruckabschaltung, Temperaturregelung und Wasserkühlung sorgen dafür, dass der Prozess ohne Risiko erfolgt. Zusätzlich sind digitale Ausgänge zur allgemeinen Überwachung von Prozessergebnissen vorgesehen. Abschließend ist 1051 ein zuverlässiges, präzises und sicheres Sputterwerkzeug, mit dem Anwender mit kurzen Umlaufzeiten hochwirksame Ergebnisse erzielen können. Es ist weit verbreitet in der Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirm und Solarzellen, aufgrund seiner anspruchsvollen und fortschrittlichen Funktionen.
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