Gebraucht CANON / ANELVA 1060 SV2+1 #9210357 zu verkaufen

CANON / ANELVA 1060 SV2+1
ID: 9210357
Wafergröße: 8"
Sputtering system, 8".
CANON 1060 SV2 + 1 ist eines der fortschrittlichsten Sputtersysteme auf dem Markt. Es ist für ultrahohes Filmwachstum und Abscheidungsprozesse konzipiert. Es ist eine Multi-Source-Sputterausrüstung, die zwei Kathoden und einen erhöhten Descum-Tiegel verwendet. Die beiden Kathoden können entweder magnetisch (MP) oder planar (PP) sein. Der erhabene Descum-Tiegel ermöglicht es dem System, beide Seiten von Substraten in einem einzigen Zyklus mit unterschiedlichen Materialien zu beschichten. Die 1060 SV2 + 1 hat eine breite Palette von Anwendungen einschließlich Display, Halbleiter, Photovoltaik (PV) und Optoelektronik Industrie. Es ist in der Lage, komplexe Muster von mehrschichtigen Folienstapeln für Oberflächen mit großer Gleichmäßigkeit und genauer Kontrolle über Dicke, Zusammensetzung und Schichtprofil zu zerstäuben. Die Einheit eignet sich auch besonders zur Abscheidung von Nitridfilmen. Der 1060 SV2 + 1 verwendet fortschrittliche Überwachungs- und Kontrollsysteme, um sicherzustellen, dass die Qualität und Integrität der Substrate während des gesamten Abscheidungsprozesses erhalten bleibt. Es verwendet eine integrierte geschlossene Maschine, um die verschiedenen Substratparameter wie Druck, Temperatur, Leistung, Spannung und Strom zu überwachen und zu steuern. Das Tool verfügt auch über ein erweitertes Vision-Asset, das hochauflösende Bilder der Substrate erfasst und schnelle und genaue Prozessanpassungen ermöglicht, um Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten. Das Modell beinhaltet auch ein automatisiertes Lastschloß, das die Verschmutzung der Arbeitskammer zwischen Substrataustausch und Prozessschritten reduziert. Durch die Vermeidung von manuellen Eingriffen und Schrittreinigungen sorgt es für einen sauberen und schnellen Übergang vom Lastschloß in die Abscheidekammern. Der 1060 SV2 + 1 bietet zudem einen optionalen Niedertemperatur-Vorsputterprozess. Dieses Verfahren kann für die Nachätzreinigung, hochauflösende Strukturierung und andere Schritte verwendet werden, die eine Niedrigtemperaturverarbeitung erfordern. Insgesamt ist ANELVA 1060 SV2 + 1 eine Hochleistungs-Sputterausrüstung, die aufgrund ihrer präzisen Steuerung, ihres breiten Anwendungsspektrums und ihrer In-situ-Überwachungs- und Steuerungssysteme in vielen Branchen weit verbreitet ist. Es bietet eine schnelle, effiziente und zuverlässige Verarbeitung für eine Vielzahl von Materialien und Substratgrößen. Das System ist in der Lage, überlegene Ergebnisse zu liefern und wird für jeden Abscheidungsprozess sehr empfohlen.
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