Gebraucht CANON / ANELVA 1060 #9155413 zu verkaufen
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ID: 9155413
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2002
PVD System, 6"
Process: Ti / TiN / Wsi
2002 vintage.
CANON/ANELVA 1060 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage für Forschungszwecke. Dieses einzigartige Abrupt Angle Magnetron Sputtering (AAM) System ermöglicht es Forschern, ultradünne Filme aus gewünschtem Material mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf Substraten abzuscheiden. Das Gerät verwendet eine vollständig geschlossene LT-Sputterkammer, die aus Source, Target, Substrat und Steuermodul besteht und in der Lage ist, Materialien in verschiedenen Kammergrößen und -formen volumetrisch abzuscheiden. Es hat auch die Fähigkeit, entweder in magnetischen oder planaren Konfigurationen zu sputtern, um das gewünschte Abscheidungsprofil zu erhalten. Die Maschine ist mit einer ABRUPT-Art von AC-Plasmaquelle ausgestattet und ermöglicht ein schnelles und einfaches Umschalten zwischen verschiedenen Materialien. Diese Kombination aus magnetischer Plasmaquelle und planarer Geometrie sorgt dafür, dass das Material gleichmäßig und gleichmäßig auf dem Substrat abgeschieden wird. Das einzigartige Design von CANON 1060 ermöglicht auch eine bessere Kontrolle des Abscheidungsprozesses. Es ist möglich, das Kathodenpotential mit einer integrierten zweikanaligen Stromversorgung genau zu steuern, wodurch die genaue Materialmenge unter unterschiedlichen Bedingungen gesputtert werden kann. Das Werkzeug verfügt außerdem über ein einstellbares HF-Netzteil, das die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folie verbessert. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem aktiven Filter ausgestattet, der die Partikelverunreinigung aus der Atmosphäre entfernt und die Gleichmäßigkeit der zerstäubten Folie verbessert. Insgesamt ist ANELVA 1060 ein fortschrittliches Sputtermodell, das in der Lage ist, dünne Filme mit gewünschten Eigenschaften und Gleichmäßigkeit herzustellen. Es ist für eine Vielzahl von Forschungsanwendungen konzipiert, von industriell bis wissenschaftlich, so dass es eine ideale Wahl für alle, die eine zuverlässige und zuverlässige Sputterausrüstung suchen. Sein innovatives Design ermöglicht eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses und gewährleistet gleichbleibend hochwertige Folien. 1060 ist eine ideale Wahl für alle, die ein modernes Sputtersystem für ihre Forschungs- oder Produktionsanforderungen suchen.
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