Gebraucht CANON / ANELVA 1060 #9155414 zu verkaufen
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ID: 9155414
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
PVD System, 6"
Process: Ti / TiN / Wsi
1996 vintage.
CANON/ANELVA 1060 ist ein Sputtergerät zur Dünnschichtabscheidung. CANON 1060 ist ein Impulssputtersystem, das reaktives Sputtern ermöglicht und sowohl große als auch kleine Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll handhaben kann. ANELVA 1060 kann sowohl mit magnetischer als auch konventioneller Leistung arbeiten und bietet eine stabile exklusive Ätz- und Filmabscheidung über einen weiten Bereich von Energieniveaus mit überlegener Wiederholbarkeit. 1060 verwendet eine Gleichstromversorgung, die zuverlässig und effizient ist und unabhängig von der Stromversorgung oder der Substratgröße eine konstante Spannung aufrechterhalten kann. Dies bedeutet, dass CANON/ANELVA 1060 leicht auf die gewünschten Abscheidebedingungen eingestellt werden kann. Die CANON 1060 ist zudem mit einer Druckmeßeinheit und einer Gasdurchflussregelmaschine ausgestattet, die präzise Druck- und Gasstromeingänge ermöglichen. Dies ermöglicht eine genaue Steuerung von Sputterparametern wie Filmdichte, Gleichmäßigkeit und Spalt zwischen abgeschiedenen Schichten. ANELVA 1060 verfügt auch über ein einzigartiges Plasma-Einschlusswerkzeug, das eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Abscheidung über eine große Oberfläche bietet. Dieses Gut verwendet Magnete, um Magnetfelder innerhalb der Vakuumkammer zu erzeugen, die zur Steuerung des Plasmas und zur Bereitstellung einer gleichmäßigen Ionendichte verwendet werden. Zusätzlich ist 1060 in der Lage, einen Bereich unterschiedlicher Betriebsarten wie Niederdruck, Hochdruck und Mono/Mehrfrequenzsputtern zu erreichen. Dies ermöglicht Flexibilität im Abscheideprozess und ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen in verschiedenen Branchen. CANON/ANELVA 1060 ist auch mit Umgebungssensoren ausgestattet, die die Umgebungstemperatur der Kammer überwachen und auch unerwünschte Emissionen testen können. Darüber hinaus wurde CANON 1060 entwickelt, um einen sauberen und sicheren Betrieb durch Überwachung und Aufrechterhaltung einer sicheren Umgebung innerhalb der Kammer zu gewährleisten. Insgesamt ist ANELVA 1060 ein fortschrittliches und zuverlässiges Sputtermodell, das eine gleichmäßige und gleichmäßige Abscheidung über eine breite Palette von Substraten bietet. Seine Fähigkeit, eine Reihe von Betriebsarten auszugeben, ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen, während seine Umweltüberwachungseinrichtungen 1060 in einer sicheren Umgebung betrieben werden können.
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