Gebraucht CANON / ANELVA C-7010 #9379072 zu verkaufen

CANON/ANELVA C-7010 ist eine High-End-Sputteranlage für den Einsatz in der Dünnschichtproduktion. Das System verwendet kathodische Lichtbogenverdampfungs- und Magnetronsputtertechniken, um Beschichtungen auf Substraten wie Keramik, Metalle und Halbleiter abzuscheiden. CANON C-7010 ist in der Lage, die spezifizierten Materialien gleichmäßig auf Substrate in einem Bereich von Dicken aufzubringen, wobei viele der kritischen Parameter des Verdampfungsprozesses eingestellt werden können. Das Gerät verwendet eine Standard-Turbocuspision Cathodic Arc Source, die scharfe Vorspannungen und sehr hohe Abscheidungsraten bietet. Eine fortschrittliche Vorsputtermaschine ist für verbesserte Gleichmäßigkeit und reduzierte Lichtbogenvorfälle während des Abscheidungsprozesses enthalten. Die Substratheizquelle ist ein keramischer Infrarotstrahler und kann bis zu 500 ° C erwärmen, was Prozesse wie Hochtemperaturabscheidung und schnelles thermisches Glühen ermöglicht. Zu den zusätzlichen Funktionen des Werkzeugs gehören der automatische Filmdickenmonitor (Auto Film Thickness Monitor), ein automatisches Feature, das es ermöglicht, Unterschiede in der Substratgröße und -dicke auszugleichen, und eine rückseitige Sputterquelle zum Abscheiden von Folien auf beiden Seiten des Substrats. Die Anlage ist auch in der Lage, Substrat Manipulation für komplexe Substrat Formen und Größen zu ermöglichen. ANELVA C-7010 enthält auch ein hochentwickeltes Steuerungssoftware-Paket, das dem Benutzer SPS und SCADA-Level-Funktionalität für Job-Setup, betriebliche Überwachung und Datenprotokollierung bietet. Die mitgelieferte Dichtkammersteuerungssoftware schützt das Modell vor Verschleiß und sorgt dafür, dass der Folienabscheidungsprozess effektiv und wiederholbar ist. Schließlich umfasst C-7010 auch Sicherheitsmerkmale wie Not-Aus sowie eine Notabgasanlage zur effizienten Luftreinigung. Das System wurde für fortgeschrittene Reinraumstandards zertifiziert und wird regelmäßig auf Kompatibilität mit bestehenden Reinraumprotokollen getestet.