Gebraucht CANON / ANELVA C-7100 #9153006 zu verkaufen

CANON/ANELVA C-7100 Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches Dünnschichtabscheidungssystem zur Abscheidung von Filmschichten auf Substraten. Es wird bei der Herstellung von dünnschichtoptischen und optoelektronischen Bauelementen wie Dünnschichttransistoren (TFTs) eingesetzt. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Optionen für Abscheidungsparameter, wie Stromquelle (DC, Puls-DC und Hochfrequenz), Zielbelichtungsbereich, Zielzusammensetzung usw. Die Maschine ist für Substrate bis 200 mm Durchmesser ausgelegt, groß genug für die meisten industriellen Anwendungen. CANON C7100 Werkzeug ist gebaut, um einen hochwertigen Folienabscheidungsprozess unter kostengünstigen Bedingungen zu bieten. Es verwendet zwei Arten von Sputterquellen: eine Multi-Target-Magnetron-Sputterquelle und eine hochdichte Diodensputterquelle. Die Magnetronsputterquelle ist in der Lage, Filme mit erhöhter elektrischer Leitfähigkeit abzuscheiden. Die Diodensputterquelle bietet eine überlegene Abscheidungsrate und Gleichmäßigkeit. Beide Sputterquellen können separat mit unterschiedlichen Abscheidungsparametern programmiert werden, um die gewünschten Filmeigenschaften zu erreichen. ANELVA C 7100 beinhaltet eine Mehrzonen-Vakuumkammer mit Evakuierung auf einen Druck von 1 × 10-3 Pa. Die Anlage ist mit einem eingebauten Wärmebehandlungsofen zur Nachbehandlung von Filmschichten ausgestattet. Darüber hinaus ist das Modell kompatibel mit einer Vielzahl von Gasfördersystemen, wie Oberflächenvorbehandlung und Gaseinführung. Das Gerät nutzt eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) für eine einfache Bedienung. Die GUI bietet alle erforderlichen Optionen, um die Systemparameter zu steuern, die Einheitenvariablen zu überwachen und Daten zu erfassen. Die Maschine enthält auch ein automatisiertes Rezeptspeicher-Tool zum einfachen Rückruf von zuvor gespeicherten Betriebsbedingungen und Rezepten. CANON/ANELVA C7100 ist in der Lage, eine Reihe von fortschrittlichen Prozessen, einschließlich der Plasma-unterstützten Abscheidung von Filmen und die Bildung von Ätzmasken. Es bietet vielfache Absetzungsrate und Gleichförmigkeitsüberwachung an, Mehrpunkt-stottern zielen auf kartografisch darstellende Fähigkeiten, und stellen Substratbe-und Entladung vorein. Die Anlage ist umweltfreundlich gestaltet und verfügt über eine integrierte turbomolekulare Vakuumpumpe und einen niedrigen Stromverbrauchsmodus. CANON/ANELVA C 7100 ist ein leistungsstarkes und kostengünstiges Sputtermodell zur Erzielung einer hervorragenden Dünnschichtabscheidungsqualität. Es bietet ausgezeichnete Abscheidungsgleichmäßigkeit und eine breite Palette von Prozessfähigkeiten. Darüber hinaus macht die intuitive Touchscreen-Benutzeroberfläche die Ausrüstung einfach zu bedienen und zu programmieren.