Gebraucht CANON / ANELVA C-7100 #9154703 zu verkaufen
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ID: 9154703
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2009
Sputtering system, 8"
(3) Chambers
2003 vintage.
CANON/ANELVA C-7100 ist eine hochwertige physikalische Aufdampfanlage, die für ihre qualitativ hochwertigen Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten bekannt ist. Dieses System verwendet Dual-Kathoden-Magnetron-Sputtern mit zahlreichen Funktionen, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Der Hauptteil von CANON C7100 umfasst eine Kammer mit verschiedenen Komponenten im Inneren. Diese Kammer ist stickstoffgasdicht und ermöglicht durch ihre effiziente Extraktion von Reaktionsnebenprodukten schnelle Abscheidungsprozesse. Eine Ionisationsanzeige hält eine Kugel von Ionen um das Werkstück, so dass eine hohe Oberflächenreinheit. Es weist auch eine Turbomolekularpumpe auf, die die Kammer auf einen Druck von ca. 1x10 ^ -5 Torr oder höher evakuieren kann. Diese Einheit wurde entwickelt, um verschiedene Substanzen mit Leichtigkeit zu verarbeiten. Die Standardkonfiguration sieht die Abscheidung reiner Metalle, Legierungen und Verbindungen, keramischer Materialien und organischer Materialien vor. Darüber hinaus ermöglicht seine versenkbare Plattform eine hochauflösende Oberansicht des Prozesses. Es werden auch vielseitige Einstellungen zur Verfügung gestellt, so dass Anoden- und Kathodenparameter unabhängig voneinander eingestellt werden können. ANELVA C 7100 verfügt über integrierte Prozesse zur Steuerung der Filmabscheidung auf dem Werkstück sowie Fernbedienungsfunktionen wie Ein/Aus-Befehle und eine Zyklusstartsteuerung. Es umfasst auch Kühl- und Heizfunktionen, die eine Temperaturregelung ermöglichen, die für die Aufrechterhaltung eines konstanten Prozesses in der Kammer entscheidend ist. Diese Einrichtung ermöglicht ferner eine Feinabstimmung des Abscheideprozesses nach Art des Substrats, Abscheidemodus und Prozesstemperatur. Insgesamt ist ANELVA C-7100 Maschine ein hochentwickeltes und zuverlässiges Sputterwerkzeug, das für die Dünnschichtabscheidung verschiedener Substanzen geeignet ist. Seine beispiellose Qualität und präzise Folienabscheidung sowie die effiziente Handhabung verschiedener Parameter machen ihn zu einem sehr gefragten und zuverlässigen Werkzeug in der Branche.
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