Gebraucht CANON / ANELVA C-7100GT #9281807 zu verkaufen

CANON/ANELVA C-7100GT Sputterausrüstung ist ein vielseitiges und hocheffizientes Sputtersystem, mit dem konforme dünne Folien auf Substraten verschiedener Größen abgelegt werden können. Es ist in der Lage, Widerstands- und Elektronenstrahlprozesse sowie mehrere Filmtypen, Dicken und Zusammensetzungen zu zerstäuben. CANON C-7100GT besteht aus einer kompakten zweistufigen Einheit, die mit zwei reaktiven (Magnetron) und einer Gleichstrom (DC) Sputterkammer ausgestattet ist. ANELVA C-7100GT ist für Hochleistungsprozesse konzipiert und kann bis zu zwei Folien gleichzeitig abscheiden, so dass in situ Folien, wie abwechselnde Schichten aus Metallen und Dielektrika, sowie komplexe Deckschichten und Strukturen mit hohem Seitenverhältnis abgeschieden werden können. C-7100GT ist mit voll programmierbaren Gleichstromversorgungen und Solid-State-Relais ausgestattet, um eine präzise Steuerung aller Prozessparameter zu gewährleisten. Die Maschine kann auch mit einem optionalen HF-Netzteil für Magnetron-Sputteranwendungen ausgestattet werden. Neben der Sputterstation enthält CANON/ANELVA C-7100GT auch ein Multi Chamber Substrate Transfer Tool (MCT) zum Be-/Entladen von Substraten aus der Sputterkammer (n). Das MCT erleichtert den zeitnahen Wechsel der Substrate und ermöglicht gleichzeitig eine bequeme Übertragung und Erwärmung der Substrate. CANON C-7100GT verfügt außerdem über eine Turboquelle mit hoher Kapazität für präzisere Ziele, hohe Abscheideraten und höhere Gleichmäßigkeit der Beschichtung. Sicherheitstechnisch verfügt ANELVA C-7100GT über eine Vakuumverriegelung, die ein Öffnen der Bearbeitungskammer bei nicht ordnungsgemäßer Evakuierung der Kammer verhindert. Dies stellt zusammen mit einer hermetisch abgedichteten Kammer sicher, dass im Betrieb keine gefährlichen Gasexpositionsrisiken bestehen. C-7100GT verfügt außerdem über einen integrierten Not-Aus-Knopf und ein thermisches Überwachungsmodell zum Schutz der Geräte und des Bedieners. Abschließend ist CANON/ANELVA C-7100GT Sputtering Equipment ein effizientes und vielseitig einsetzbares Sputtersystem, das sich ideal zum Abscheiden konformer Dünnschichten und komplexer Deckschichten auf Substraten eignet. Es ist mit zwei reaktiven und einer DC-Sputterkammer sowie einer Multi Chamber Substrate Transfer Unit und einer Hochleistungs-Turboquelle für präzise Zielsteuerung und hohe Abscheiderate ausgestattet. Die Maschine enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie ein Vakuum-Verriegelungswerkzeug, hermetisch abgedichtete Kammer, und Not-Aus-Taste.