Gebraucht CANON / ANELVA C-7100GT #9293803 zu verkaufen
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ID: 9293803
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
System, 12"
CANON / ANELVA xT
(2) PVD Chambers
2006 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches Produktionswerkzeug, das für mehrere Sputteranwendungen verwendet werden kann. Es ist ein leistungsfähiges, wirtschaftliches Sputtersystem, das zum Aufbringen von Metall- und Dielektrikumfolien auf eine Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. CANON C-7100GT ist mit einer ECR-Quelle (Electron Cyclotron Resonance) ausgestattet, die eine schnellere Abscheidung als Standardsputterverfahren sowie eine verbesserte Filmgleichmäßigkeit und höhere Abscheidungsraten ermöglicht. ANELVA C-7100GT ist eine Vierkammereinheit, die aus vier Sputterquellkammern besteht, die innerhalb einer einzigen Vakuumkammer angeordnet sind. Jede Sputterquellenkammer ist so ausgelegt, dass sie eine hochgleichmäßige Zielmaterialschicht für Oberflächen erzeugt, die mit einem homogenen Film beschichtet werden müssen. Es hat auch eine große Zielfläche, die große Substrate von bis zu 200 mm Größe aufnimmt. Es umfasst eine hochpräzise X-Y-Bewegungsmaschine, die ein hohes Maß an Feinabstimmung während des Sputterprozesses ermöglicht, und ein automatisiertes Umweltkontrollwerkzeug, das eine stabile Prozessumgebung verwaltet und aufrechterhält. C-7100GT ist in der Lage, eine Vielzahl von Vakuumabscheidungsfolien zu erzeugen, indem verschiedene Sputtergase wie Argon, Krypton und Xenon verwendet werden. Es verwendet einen Hochfrequenz-ECR-Generator, um hohe Abscheidungsraten bei niedrigen Temperaturen aufrechtzuerhalten, was zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit der Beschichtung führt. Darüber hinaus ist CANON/ANELVA mit seinem großen Temperaturregelbereich C-7100GT ideal für Spezialanwendungen wie sehr dünne Schichtabscheidung und Spezialbeschichtung. Die Anlage verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein ausfallsicheres Abschaltmodell, eine bordeigene Datenerfassungsausrüstung und ein Betriebstemperatur- und Druckregelsystem. Insgesamt ist die CANON C-7100GT Sputtereinheit ein zuverlässiges und hocheffizientes Werkzeug für Sputteranwendungen. Mit ECR-Quelle, hoher Abscheiderate, großer Zielfläche und breitem Temperaturbereich ist die Maschine ideal für die Herstellung von Metall- und dielektrischen Folien für Produktoberflächen und Komponenten. Es ist eine wirtschaftliche Wahl, die sowohl für langfristige, serienreiche als auch für Spezialbeschichtungsanwendungen perfekt ist.
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