Gebraucht CANON / ANELVA C-7170C #9031249 zu verkaufen

ID: 9031249
Weinlese: 1996
Vacuum coating system E-gun 1996 vintage.
CANON/ANELVA C-7170C Sputtergeräte sind ein kostengünstiges, leistungsgesteuertes Sputterabscheidungssystem zur Herstellung von dünnen Folien mit hervorragender Reproduzierbarkeit. CANON C-7170C Einheit ist für den Einsatz in der industriellen Produktion, Forschung und Entwicklung und Laboranwendungen konzipiert. Die Maschine verfügt über einen anspruchsvollen Scanner, automatisiertes Be- und Entladen von Substraten und eine Vielzahl von Prozessoptionen, einschließlich Ar-Ionen-Reinigung, Sputterabscheidung, elektrische Messung und In-situ-Beobachtung. ANELVA C-7170C Werkzeug besteht aus mehreren Komponenten: einer Zweikammer-Sputteranlage, zwei HF-Stromquellen, einem sich automatisch bewegenden Scanner, einem Substrathalter, Vakuumpumpen, einem Ionisationsmessgerät und einem Controller. Das Zweikammermodell kann sowohl für Argon-Sputtern als auch für elektrostatisches Sputtern verwendet werden. Die beiden HF-Stromquellen liefern die notwendige Leistung für die Ziele, um hohe Abscheideraten zu ermöglichen, während der automatisierte Scanner eine selektive Flächenabscheidung von gewünschten dünnen Filmen ermöglicht. Der Substrathalter ist so ausgelegt, dass er ein gleichmäßiges gleichmäßiges Aufbringen dünner Filme in Fenstern mit 8 Zoll oder 6 Zoll Durchmesser ermöglicht. Die Hochvakuumpumpen sorgen für das notwendige Vakuumniveau für den Sputterprozess, und das Ionisationsmessgerät unterstützt bei der Überwachung des absoluten Drucks der Geräte. Schließlich ermöglicht das Steuerungssystem den automatisierten Betrieb der Einheit und liefert Echtzeit-Feedback zur Leistung der Maschine. C-7170C Tool bietet eine breite Palette von Prozessmöglichkeiten, wie hohe ARS (Argon Sputter), niedrige ARS (Sputter), elektrostatische Sputter und Abscheidung, Ätzen, In-situ-Beobachtung und elektrische Messung. Das Gut kann Materialien mit unterschiedlichem Schwierigkeitsgrad wie Polymere, Metalle, Keramiken und Oxide verarbeiten. Darüber hinaus kann das Modell verwendet werden, um eine breite Palette von dünnen Schichten herzustellen, von Metallen bis zu metallischen Legierungen und amorphen, kristallinen und Verbundhalbleitern. Das Gerät kann auch zur Herstellung von dicken Folien mit gleichmäßig gleichmäßiger Oberfläche verwendet werden. Das System bietet eine hervorragende Kontrolle über die Prozessparameter und hat eine schnelle Substratwechselzeit von 6 Sekunden pro Substrat, was einen hohen Durchsatz für Produktionsanwendungen ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, mit einem Basisdruck von 5 x 10-7 Torr ultrapräzise Ionenstrahlätzen zu erzielen, um eine extrem geringe Materialoberflächenverschmutzung zu erreichen. Die automatisierten Funktionen der Maschine helfen, die Arbeitskosten zu senken und den gesamten Werkzeugdurchsatz zu verbessern. Insgesamt ist CANON/ANELVA C-7170C eine ausgezeichnete kostengünstige und leistungsorientierte Sputterabscheidung für Produktion, Forschung und Entwicklung sowie Laboranwendungen. Die Eigenschaften des Modells bieten Anwendern die Möglichkeit, eine breite Palette von Abscheideprozessen mit ausgezeichneter Reproduzierbarkeit und Ausbeuten zu erreichen.
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