Gebraucht CANON / ANELVA C-7300 #9366161 zu verkaufen
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ID: 9366161
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Sputtering system, 12"
Non-SMIF type
Wafer type: Notch
Pin chuck
Operation system: Windows
Missing parts:
CHM Stage heater
Load lock cryo pump
2010 vintage.
CANON/ANELVA C-7300 ist eine Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage der CANON Corporation. Entwickelt, um die immer strengeren Anforderungen der Oberflächenbearbeitung und Abscheidungsanwendungen zu erfüllen, verwendet CANON C-7300 ein ferngesteuertes Cathodic Magnetron Sputter (CMS) -Verfahren, das ideal für die Beschichtung großer Flächen und Komponenten mit hoher Gleichmäßigkeit ist. ANELVA C 7300 besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Verarbeitungskammer und der Magnetron-Stromversorgung. Die Kammer besteht in erster Linie aus Prozesskammer, Gaskasten, Vakuumpumpen und Kühlmittelversorgung und der Magnetronsputterpistole. Innerhalb der Bearbeitungskammer ist die Magnetronsputterpistole an der Kammerwand angebracht, so dass sich die Sputterpistole sowohl im Uhrzeigersinn als auch gegen den Uhrzeigersinn ohne Einschränkung drehen kann. Durch den Gaskasten wird auf der Seite der Kammer Gas eingeleitet, während Evakuierungspumpen den Druck innerhalb der Kammer regeln. Das außerhalb der Verarbeitungskammer befindliche Magnetron-Netzteil ist über ein Hochspannungskabel mit der Sputterpistole verbunden. CANON/ANELVA C 7300 verwendet ein hocheffizientes CMS-Verfahren, bei dem negative Ionen, die durch ein internes Feld in Richtung des Ziels beschleunigt werden, von der Probe angezogen werden, wodurch ein Niederdruckplasma mit erregten Atomen erzeugt wird. Durch das daraus resultierende Beschießen dieser Atome auf die Probe entsteht eine dünne, homogene Schicht des gewünschten Materials. Durch die Verwendung von Verschlussanordnungen kann der Transport von zerstäubtem Material vom Target zur Oberfläche der Probe präzise gesteuert werden. C-7300 System soll eine präzise Kontrolle der Abscheiderate, Filmdicke, Schrittabdeckung und Zusammensetzung des resultierenden Dünnfilms ermöglichen. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle ermöglicht einen komfortablen Zugriff auf Geräteparameter wie Pumpendrehzahl, Druck, Durchfluss und Leistung, so dass der Aufbau und Betrieb der Maschine je nach Anwendung schnell optimiert werden kann. Zur Sicherheit umfasst das Tool Temperatur- und Belichtungssicherungen sowie ein PC-artiges O/S für den sofortigen Zugriff auf Asset-Parameter. C 7300 Sputterbeschichtungsmodell ist eine ideale Wahl für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten. Seine präzise Kontrolle über Parameter wie Abscheideleistung, Gasdurchfluss und Druck, bieten einen Grad der Anpassung, der von allen anderen vorhandenen Sputter-Beschichtungsgeräten unerreicht ist. Darüber hinaus sorgen sein robustes Design und hochwertige Komponenten für zuverlässige Leistung und langfristige Benutzerfreundlichkeit.
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