Gebraucht CANON / ANELVA E-730S-FH #9167771 zu verkaufen

CANON/ANELVA E-730S-FH ist eine Sputteranlage für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Dieses System ist in der Lage, sowohl dielektrische als auch Metallschichten auf Wafern zu zerstäuben. Es kann auch Keramik- und Legierungsschichten sputtern. CANON E-730S-FH ermöglicht es Benutzern, die Prozessparameter wie Gasdruck, Argon (Ar) Druck, Temperatur und Druck von Abscheidungsgasen einfach zu steuern. Diese Parameter können an die Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Die Einheit verfügt auch über eine Impulsätzfunktion, die es Benutzern ermöglicht, die Impulsätzung anzupassen, um ihre Abscheiderate zu optimieren. ANELVA E-730S-FH verfügt über eine Sputterkammer mit einem Durchmesser von 960 mm. Dies ermöglicht das Sputtern großer Wafer mit einer Größe von bis zu 13 Zoll (312,85 mm). Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Dual-Frequenz-Netzteil, das bis zu 4.2kW versorgen kann. Diese Stromversorgung kann verwendet werden, um sowohl DC als auch Hochfrequenz-HF-Sputterabscheidung zu erzeugen. E-730S-FH wurde entwickelt, um qualitativ hochwertiges, zuverlässiges und effizientes Sputtern zu bieten. Es ist mit einem Gasregelwerkzeug ausgestattet, um sicherzustellen, dass die gewünschten Prozessparameter während des gesamten Sputterprozesses eingehalten werden. Diese Ressource kann verwendet werden, um verschiedene Materialien wie Aluminium, Kupfer, Chrom, Tantal und dünne Filme zu sputtern. Dieses Modell verfügt auch über eine Vakuumsteuereinrichtung, die hilft, eine hohe Reinheit des abgeschiedenen Materials zu gewährleisten. Das System wurde entwickelt, um zu vermeiden, dass Luftpumpen die Abscheiderate abbauen, und ist auch entworfen, um den Staubaufbau in der Vakuumkammer zu begrenzen. CANON/ANELVA E-730S-FH ist mit optischen und akustischen Alarmen ausgestattet. Wenn während des Prozesses etwas schief geht, können Bediener den Zustand des Geräts mit den Alarmanzeigen leicht überwachen. Die Maschine ermöglicht es dem Anwender auch, mehrere Systeme miteinander zu verketten und sicher automatisiert zu betreiben. Mit dieser Funktion können mehrere Sputtersysteme gleichzeitig ausgeführt werden, während sichergestellt ist, dass alle Teile ordnungsgemäß ausgeführt werden. Diese Funktion kann helfen, die Effizienz zu verbessern und Sputterkosten zu reduzieren. Insgesamt ist CANON E-730S-FH ein zuverlässiges und effizientes Sputterwerkzeug, das qualitativ hochwertige Abscheidungsschichten herstellen kann. Diese Ressource ist sowohl für Forschung als auch für Fertigungsanwendungen verfügbar.