Gebraucht CANON / ANELVA E-800S #293830303 zu verkaufen

CANON/ANELVA E-800S Sputtergeräte sind ein hochmodernes Dünnschichtabscheidungswerkzeug für den Einsatz in einer Vielzahl von Produktions- und Forschungsanwendungen. Dieses System nutzt eine automatisierte, abgedichtete Kammerkonstruktion mit bis zu acht Lastschlössern für eine schnelle Substratbeladung. Diese Einheit ist in der Lage, die modernsten verfügbaren Sputtertechniken zu verwenden, einschließlich ionenunterstütztes Sputtern, Magnetronsputtern hoher Dichte, reaktives Sputtern und pulsierendes DC-Sputtern. CANON E-800S verfügt über zwei Hauptsputtersysteme, eine 24-Kanal-Widerstandsquelle und eine 18-Kanal-Magnetronquelle hoher Dichte. Beide Quellen können je nach gewünschter Abscheidung mit unterschiedlichen Zielmaterialien ausgestattet und in Kombination für noch komplexere Folienarchitekturen eingesetzt werden. Doppel- und Dreifach-Ionen unterstützt Sputtern ist auch auf ANELVA- E-800S, die zwei oder drei Ionen Quellen gleichzeitig arbeiten, um die Energie der auftreffenden Ionen zu erhöhen, reduzieren Substrat Aufladung, und erhöhen die Abscheidung Gleichmäßigkeit. Dieses Merkmal ermöglicht es auch, nahezu jedes Material in höchster Qualität abzuscheiden, einschließlich schwer abscheidbarer Substrate wie Diamant- und Siliziumdioxid-basierte Materialien. Darüber hinaus verfügt E-800S über einen niedrigen HiPIMS-Modus (High Power Impulse Magnetron Sputtering), der die Abscheiderate verdoppelt und dabei die gleichen hochwertigen Dünnschichten beibehält. Weitere Optionen auf dieser Maschine sind eine handbelastbare Quelle und Argon, Wasserstoff oder Stickstoffgas kapazitiv gekoppelte Plasmaquellen. Diese alternativen Abscheidungstechniken können hohe Abscheidungsraten bei geringer Haftung und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit bieten. CANON/ANELVA E-800S ist mit fortschrittlichen Computerwerkzeugen ausgestattet, einschließlich einer intuitiven Touchscreen-Oberfläche und Echtzeit-Datenerfassung für eine umfassende Prozess- und Werkzeugleistungsüberwachung. Das Asset verfügt zudem über eine automatische Prozesssteuerung und automatisierte Kalibrierung der Kammerparameter. Die offene, benutzerfreundliche Software macht es einfach, Rezepte zu speichern, zu verarbeiten und zu generieren. Als zusätzliches Sicherheitsmerkmal enthält das Modell einen optionalen Verriegelungsschalter, der ein versehentliches Aktivieren der Quellen beim Öffnen der Kammer verhindert. Insgesamt ist CANON E-800S eine hochentwickelte Sputterausrüstung, die eine extrem gleichmäßige und zuverlässige Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Mit einer Reihe von automatisierten Funktionen in Kombination mit mehreren Quellen kann dieses System für die anspruchsvollsten Anforderungen an die Abscheidung verwendet werden. Ob für die Forschung oder industrielle Produktion, ANELVA E-800S ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung.