Gebraucht CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9171868 zu verkaufen

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 ist eine Einkammer-Hochvakuum-Sputteranlage zum Aufbringen dünner Filme auf Substrate für fortgeschrittene Mikroelektronik und optische Anwendungen. Die Einheit hat einen Grunddruck von 2x10-6 Torr, der mittels einer Aktivstufen-Turbomolekularpumpe erreicht wird. Die maximale Sputterleistung der I-1060 ist 5kW und hat einen einstellbaren Leistungsbereich von 0-10%, wodurch sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Ein isoliertes Rohr auf der Rückseite des Geräts bietet zusätzliche Leistung für das Magnetron-Sputtern. Darüber hinaus weist die I-1060 einen Hochvakuumverschluss auf, um die Substratbe-/entladekammer von der Filmwachstumskammer zu trennen. Das I-1060 kann eine Vielzahl von Zielen bis zu einem Durchmesser von 60cm aufnehmen, mit einer Gesamtzielfläche von 170cm2. Es hat eine variable Sputtergeschwindigkeit von 0,1-30 cm/min, die mit einem Mikroprozessorsystem eingestellt werden kann. Die Tischelektrode in der I-1060 liefert einen Boden für das elektrische Feld, das Elektronen auf das Zielmaterial überträgt, was zur Plasmabildung führt. Die Tischelektrode (TME) erhöht die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schichten und ermöglicht die Bildung texturierter Folien. Das Gerät verfügt außerdem über eine 4-stufige Schruppeinheit sowie Wartungsvakuumventile, eine Spülmaschine, drei Mikronfilter, zwei Baffles und eine Pumpleitung. Darüber hinaus ermöglicht eine digitale Steuerung mit einem Temperaturkompensationswerkzeug eine einfache Bedienung und ermöglicht dem Anwender die notwendigen Anpassungen der Sputterparameter. Das I-1060 bietet eine präzise Filmdickenregelung mit einem Unterschied in der Foliendicke von weniger als 10%. Es ist auch eine Dünnschicht-Inspektion im Modell enthalten, die die Qualitätskontrolle gewährleistet. Darüber hinaus verwendet die I-1060 eine Vielzahl von Gasen wie Argon, Stickstoff, O2, H2 und N2 während des Sputterprozesses. Darüber hinaus verbessern fortschrittliche Ferndiagnosen und Sicherheitsmechanismen die Leistung der Geräte und schützen sie vor möglichen Schäden.