Gebraucht CANON / ANELVA I-1060 SVII #293821353 zu verkaufen

CANON / ANELVA I-1060 SVII
ID: 293821353
Wafergröße: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA I-1060 SVII ist ein fortschrittliches Sputtergerät, das bei der Herstellung elektronischer Komponenten verwendet wird. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu sputtern, einschließlich Ni, Ti, Mo, W und Si.Das System verfügt über eine Hochvakuum-Sputterkammer und eine Sputterpistole in einer Hochleistungs-Vakuumkammer untergebracht. Die Sputterpistole ist mit einem höhenverstellbaren Ständer und zwei Sputterköpfen ausgestattet, um eine gleichmäßige Beschichtung des Substrats zu gewährleisten. Das Gerät kann auf seiner manuell rotierenden Plattform ein Substrat mit einem Durchmesser von bis zu 340mm aufnehmen. CANON I-1060 SVII wird von einem robusten Touchscreen-basierten Controller gesteuert und verwendet eine Vielzahl von Sputtertechniken. Es ist mit verschiedenen Quellen kompatibel, einschließlich DC, gepulstem DC und hochfrequentem AC-Sputtern. Die Maschine hat eine hohe Abscheidungsrate, gute Gleichmäßigkeit, geringe Partikelemissionen und eine breite Palette von Zielmaterialverträglichkeit. Es hat auch heiße und kalte Min-Max-Temperaturregler, die ein genaues Temperaturmanagement während des Betriebs ermöglichen. ANELVA I-1060 SVII können sowohl im Inline- als auch im Batch-Sputterverfahren betrieben werden. Bei Inline-Prozessen werden Substrate kontinuierlich mit einer einzigen Sputterpistole beschichtet, bei Batch-Prozessen werden mehrere Substrate in getrennten Chargen gesputtert. Beispielsweise kann ein Batch-Verfahren mit 1000 Substraten in ca. 10 Minuten abgeschlossen werden. Das Werkzeug kann auch mit anderen Geräten wie UV-Härtung, PVD/CVD-Hartbeschichtung und Lastschlösser gekoppelt werden. I-1060 SVII besteht aus hochwertigem korrosionsbeständigem Edelstahl und ist mit einem Sicherheitsschild und Notabschaltungen ausgestattet, um die Sicherheit des Benutzers zu gewährleisten. Das Asset ist wartungsfähig und die Filter sind leicht zugänglich. Insgesamt ist CANON/ANELVA I-1060 SVII ein zuverlässiges, leistungsstarkes Sputtermodell, das eine wirtschaftliche und effiziente Lösung für die Herstellung einer Vielzahl elektronischer Bauteile mit präzisen und gleichmäßigen Beschichtungen bietet. Seine breite Palette an Sputtertechniken und seine Chargen- und Inline-Verarbeitungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Hersteller, die nach einer zuverlässigen und kostengünstigen Sputterausrüstung suchen.
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