Gebraucht CANON / ANELVA I-1060 #9144792 zu verkaufen

CANON/ANELVA I-1060 ist eine hochpräzise, industrielle Sputteranlage, die hochreine, gleichmäßige Dünnschichten herstellen kann. Entwickelt von CANON, ist das System in verschiedenen Branchen für viele Anwendungen weit verbreitet, wie Sonnenkollektoren, Flachbildschirme, Touchpanels, optische Speichermedien und viele andere Elemente, die hoch spezifizierte Abscheidungsschichten erfordern. CANON I-1060 ist eine vertikale Magnetronsputtereinheit, die mit Hochleistungsmagneten Plasmaionen auf ein entsprechend geformtes, elektrisch isoliertes Substrat treibt. Dieses Verfahren ermöglicht dem Anwender eine hohe Kontrolle über die Abscheidegeschwindigkeit, die Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Materials und andere wichtige Parameter. Die Maschine bietet auch die Fähigkeit, Folien von fast jeder Dicke zu produzieren, so dass es perfekt für Anwendungen, die sehr dünne Schichten. ANELVA I-1060 bietet eine breite Palette von Vakuumniveaus, die je nach gewähltem Verfahren Drücke von 1 bis 10-3 mbar erreichen. Dies ermöglicht die Anpassung des Werkzeugs an eine Vielzahl von Substraten und Applikationsanforderungen. I-1060 bietet auch Kammerreinigungsfunktionen sowie eine Vielzahl von Waferumzugssystemen, die einen unbemannten Betrieb ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein automatisches Gasdurchflussregelungsmodell und eine Feinbewegungspositioniereinrichtung zur Präzisionskontrolle über den gesamten Abscheideprozess. Weitere Merkmale von CANON/ANELVA I-1060 sind die Verwendung von HF-, DC- und Puls-DC-Sputtern, wodurch Oxidfilme, leitfähige Schichten und Legierungsfolien hergestellt werden können. Das System verfügt über eine interne Durchführung für Ultrahochvakuumanwendungen sowie eine mehrstufige Autokammerreinigungseinheit. Darüber hinaus unterstützt CANON I-1060 verschiedene Beschichtungsquellen, darunter planare Kathoden, Sputterpistolen, drehbare Kathoden und Dreifachwellenmagnetron, was zu hohen Abscheidungsraten und hoch spezifizierten Dünnschichtbeschichtungen beiträgt. Insgesamt ist ANELVA I-1060 eine außergewöhnliche Sputtermaschine, die umfassende Abscheidefunktionen bietet und gleichzeitig höchsten Qualitätsstandards entspricht. Dank seiner Flexibilität, Zuverlässigkeit und Präzision ist es für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen geeignet, die hohe Leistung erfordern.