Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1012 MK II #9068933 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1012 MK II
ID: 9068933
Wafergröße: 4"-5"
Sputtering systems, 4"-5".
CANON/ANELVA ILC 1012 MK II ist eine Spezialsputterausrüstung für den Einsatz in der Vakuumbeschichtung. Das System ist mit einer Kaltkante ausgestattet, die aus einem stationären, Multi-Magnetron-Kathodenaufbau sowie einer beweglichen, Multi-Magnetron-Anode besteht. Diese Kombination ermöglicht mehrere Vorteile gegenüber herkömmlichen Elektronenstrahlsystemen, einschließlich einer sehr großen Halsgröße, die ein effizientes Sputtern großer Komponenten ermöglicht. Die Kaltkanone ermöglicht auch die Verwendung eines höheren Drucks als andere Elektronenstrahlsysteme. CANON ILC 1012 MK II bietet mehrere Sputterkammerkonfigurationen, die jeweils auf die spezifischen Anforderungen der Anwendung eines Kunden zugeschnitten sind. Die Standardkonfiguration, bestehend aus einer 25 cm großen Arbeitskammer, ist in der Lage, bis zu vier Zielmaterialien gleichzeitig zu verarbeiten. Diese Kammer hat einen 5 cm Zugang und ist mit einem 0,6 mbar Basisdruck und einer 0,2 mbar Turbopumpe ausgestattet. Optional ist auch eine 8 cm große Prozesskammer mit 0,45 mbar Grunddruck und einer 0,1 mbar Turbopumpe erhältlich. Das Gerät ist mit einer Steuereinheit ausgestattet, die bis zu 24 Netzteile verwaltet und eine präzise Steuerung der Maschinenparameter ermöglicht. Die zentrale Steuerdatenbank ermöglicht die Speicherung mehrerer Rezepte für schnelle und einfache Änderungen zwischen Anwendungen. Darüber hinaus überwacht die integrierte Fehlererkennungssoftware das Werkzeug während des Betriebs kontinuierlich und hebt Flaggen an, um den Benutzer zu benachrichtigen, wenn Unregelmäßigkeiten auftreten. ANELVA ILC 1012 MK II hat eine Vielzahl von Funktionen, um den Betrieb und die Wartung zu erleichtern. Dazu gehören ein Energiesparmodus, der den Energieverbrauch der Anlage kontinuierlich überwacht, sowie eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche zum Einrichten und Bedienen des Modells. Darüber hinaus ist die Ausrüstung für einen hohen Durchsatz mit einer typischen Zykluszeit von nur 2 Minuten ausgelegt. Die robuste Konstruktion und der Einsatz hochwertiger Materialien sorgen für eine lange Lebensdauer des Systems. Dies führt in Kombination mit den im gesamten Aggregat eingesetzten Industriekomponenten zu einem äußerst zuverlässigen und reproduzierbaren Prozess. Insgesamt ist ILC 1012 MK II eine zuverlässige und vielseitige Sputtermaschine, die den Anforderungen einer Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen gerecht wird. CANON/ANELVA ILC 1012 MK II ist mit seiner großen Kehlgröße, seiner hohen Druckfähigkeit, seiner einfachen Bedienung und Wartung sowie seinen energiesparenden Eigenschaften eine ideale Wahl für jede Branche, die an der Vakuumbeschichtung beteiligt ist.
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