Gebraucht CANON / ANELVA ILC-1013 #9144935 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC-1013
ID: 9144935
Wafergröße: 5"
Sputtering systems, 5".
CANON/ANELVA ILC-1013 ist eine Sputteranlage, die speziell für die Abscheidung von Nanometer-Dünnfilmen entwickelt wurde und somit ideal für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und bei der Herstellung von mehrschichtigen Dünnfilmen geeignet ist. Es ist ein Magnetron-Sputtersystem, das die Verwendung eines Magnetron-Targets nutzt, um ein hochmotorisiertes Magnetfeld auf eine Zieloberfläche für effizientes und präzises Sputtern zu entfesseln. CANON ILC-1013 ist für eine präzise Kontrolle der Schichtdicke ausgelegt und kann Materialschichten abscheiden, die nur wenige Nanometer dick sind. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche für einfaches Setup und mehrere Funktionen zur automatisierten Abscheidung. ANELVA ILC-1013 verwendet eine Kathodenkonfiguration mit einem Zylinder und kann zum Abscheiden von Filmen auf einer Vielzahl von Filmsubstraten verwendet werden. Es verfügt über zwei unabhängige und programmierbare Kammertemperaturen sowie eine hochpräzise Substrathaltertemperaturregelung für optimale Substratstabilität. Das Gerät verwendet eine fortschrittliche Analysemaschine zur Überwachung des Filmabscheidungsprozesses vor Ort. ILC-1013 umfasst zwei Sputterpistolen, die für einfachen Zielaustausch und eine hohe Wiederholbarkeit ausgelegt sind. Die Kanonen können für Einzel- oder Zweikomponenten-Sputtern konfiguriert werden, sodass der Benutzer je nach Anwendungsanforderungen den besten Modus auswählen kann. Das Tool verfügt auch über einen unabhängigen Controller für jede Sputterpistole, mit dem Benutzer benutzerdefinierte Rezepte für jede Pistole programmieren und die Sputterparameter in Echtzeit anpassen können. CANON/ANELVA ILC-1013 Sputteranlage ist entworfen, um eine Vielzahl von Filmabscheidungsanforderungen zu erfüllen. Es verfügt über eine Kammergröße, die typischerweise 4 „-Substrate aufnehmen kann, und einen optionalen Drehsubstrathalter, der die Verarbeitung von bis zu 6“ -Substraten ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Modell eine einstellbare Gasdurchsatzausrüstung und einen Vakuumniveauregler zur automatischen Vakuumniveauregelung, um eine präzise und wiederholbare Filmabscheidung zu gewährleisten. Insgesamt ist CANON ILC-1013 ein gut konzipiertes Sputtersystem, das dem Benutzer eine präzise Kontrolle über die Schichtdicke und die individuelle Rezeptprogrammierung für erweiterte Abscheidungsergebnisse bietet. Vom leistungsstarken Magnetfeld bis zur intuitiven Benutzeroberfläche und Substrathalter-Temperaturregelung kann ANELVA ILC-1013 helfen, den Prozess der Dünnschichtabscheidung zu optimieren und in einer Vielzahl von Anwendungen hervorragende Ergebnisse zu erzielen.
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