Gebraucht CANON / ANELVA ILC-1013 #9269410 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC-1013
ID: 9269410
Wafergröße: 5"
Sputtering systems, 5".
CANON/ANELVA ILC-1013 ist eine DC-Magnetronsputteranlage der CANON Corporation. Es ist ein Hochleistungs-Sputtersystem für industrielle Beschichtungsanwendungen. CANON ILC-1013 verwendet eine Hochfrequenz-Wechselstromversorgung, um einen hochdichten Plasmabogen zu erzeugen, der dann verwendet wird, um eine Vielzahl von Materialien zu sputtern. Der hochdichte Plasmabogen ermöglicht eine wesentlich höhere Ionisationseffizienz als herkömmliche DC-Sputtersysteme, was zu überlegenen Abscheidungsgeschwindigkeiten führt. ANELVA ILC-1013 verfügt über eine fest gesteuerte Waferübertragungseinheit, die maximale Substratkonsistenz ermöglicht. Das hocheffiziente Design der Maschine verbessert die allgemeine Gleichmäßigkeit und Topographie der Endbeschichtung. Darüber hinaus verfügt ILC-1013 über eine präzise Positionierung des Substrats, so dass eine beispiellose Sputter Gleichmäßigkeit und eine enge Kontrolle der Substrattemperatur ermöglicht. CANON/ANELVA ILC-1013 verfügt über verschiedene Steuerungsmöglichkeiten, einschließlich Temperaturregelung, Gasflussregelung und Multizielbetrieb. CANON ILC-1013 ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter ein Niederspannungsüberwachungswerkzeug, antistatischer Schutz und Substratclipschutz. Es wurde mit einer schweren Edelstahlschale und einem inneren Metallschild entworfen und bietet ultimativen Schutz und Abschirmung vor externen Kontaminationsquellen. Im Betrieb muss ANELVA ILC-1013 in kontrollierter Atmosphäre gehalten werden. Die Anlage nutzt Kühl- und Evakuierungssysteme, um die Temperatur zu regulieren und eine saubere Umgebung zu erhalten. Alle Komponenten sind über eine zentrale Vakuumsteuerung (VCU) verbunden, um eine unterbrechungsfreie Vakuum- und Prozessstabilität zu gewährleisten. ILC-1013 ist eine ideale Wahl für Anwendungen, die hohe Qualität und Konsistenz im Beschichtungsprozess erfordern. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden und kann für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen verwendet werden, einschließlich medizinischer, Automobil- und Halbleiterherstellung. Die erweiterten Funktionen des Modells machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für alle Arten von Ablagerungen.
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