Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1015 #9302490 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC-1015 ist eine Sputteranlage mit Massenstromregler, Vakuumsystem und Stromversorgung. Diese Einheit ist für Sputteranwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Mikrogeräteherstellung und Substratreinigung ausgelegt. Die Maschine besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Kammer und der Stromversorgungsplattform. Die Kammer besteht aus einer Vakuumkammer, einer Abscheidungsquelle und einer Substratstufe. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und hat ein Glockenglas-Design, das einen einfachen Zugang zu den Substraten ermöglicht. Die Abscheidungsquelle besteht aus einer einzigen Zielversorgung mit bis zu vier unabhängigen Sputterquellen, die an der Kammertür montiert sind. Die Substratstufe ist einstellbar und kann bis zu 200mmx200mm Substrate aufnehmen. Die Stromversorgungsplattform von CANON ILC-1015 wurde entwickelt, um eine flexible und genaue Leistungssteuerung der Sputterquellen zu ermöglichen und eine präzise Dünnschichtabscheidung zu ermöglichen. Die Plattform besteht aus drei Arten von Stromversorgungen: einem Gleichstrom (DC) -Netzteil zur Steuerung der Gleichspannung, einem Pulsweitenmodulationsnetzteil (PWM) zur Steuerung des PWM der Sputterquelle und einem HF-Netzteil. Die Sputterleistung kann von 0-5kW aus eingestellt werden, was die Abscheidung dicker Schichten ermöglicht und einheitliche Kugelgruppen von Atomen erzeugt. Das Werkzeug kann entweder manuell oder automatisch betrieben werden. Im manuellen Modus kann der Benutzer die Kammerparameter wie Druck, Temperatur und HF-Leistung steuern. Im Automatikbetrieb wird die Anlage über einen Personalcomputer (PC) programmiert und bedient. Der Benutzer kann auch verschiedene Sensoren verwenden, um die Abscheiderate und Substrattemperatur zu messen. ANELVA ILC-1015 ist ein fortschrittliches Sputtermodell, das eine präzise und genaue Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Es eignet sich für Mikrogeräteherstellung, Sputterätzen und andere Sputteranwendungen. Mit seiner fortschrittlichen Stromversorgungsplattform und dem benutzerfreundlichen Betrieb können ILC-1015 Forschern helfen, ihre gewünschten Ergebnisse schnell und effizient zu erzielen.