Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1015i #9105641 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1015i
ID: 9105641
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" Spare parts included.
CANON/ANELVA ILC 1015i ist eine Sputteranlage, die verwendet wird, um dünne Filme gleichmäßiger Dicke auf verschiedenen Substraten zu bilden. Das System besteht aus einer Stromversorgung, einer Ionenquelle und einer Plasmaquelle. Die Stromversorgung ist das Herzstück der Einheit und für die Steuerung des Sputterstroms und der Spannung verantwortlich. Die Spannung bestimmt den Abstand zwischen der Ionenquelle und dem Zielmaterial, während der Strom die Ionenbeschussrate bestimmt. Die Stromversorgung gibt auch Rückmeldung über die Höhe des Sputterstroms und verfügt über Überwachungs- und Sicherheitsfunktionen, um Überlastungen oder Lichtbogen zu verhindern. Die Ionenquelle dient zur Zufuhr von Ionen, die dann auf das Zielmaterial fokussiert werden, wodurch thermische Energie bereitgestellt wird, die für die Verdampfung von Zielmaterialatomen erforderlich ist. Die Ionenquelle ist typischerweise ein Hochfrequenz- (RF), Gleichstrom (DC) oder Magnetronsputterer. Die Plasmaquelle dient zur Erzeugung einer Plasmaumgebung in der Sputterkammer. Dies wird erreicht, indem ein hochdichter Plasmabrenner aus Elektronen und Ionen erzeugt wird, der stark zum Sputtern verwendet wird. Das Plasma wird durch Injektion des Targetmaterials und der zerstäubten Gläser in die Glimmentladung erzeugt, was dann zu einer Funkenstrecke zwischen Anode und Kathode führt. CANON ILC 1015i ist nach Industriestandards zertifiziert und für Substrate mit einer Dicke von 2,5 bis 12,7 Millimetern mit einem Gesamtvolumen von 27 Litern ausgelegt. Es unterstützt Verdampfung, HF- und DC-Sputtern und Ionenstrahlbeschuss sowie andere Standard-Sputterverfahren. ANELVA ILC 1015i ist eine robuste Maschine mit Funktionen wie Prozessschmiedefähigkeit, übergeordneter Computersteuerung, separaten Ablagerungs- und Backzyklen und mehreren Zielmaterialien. Die mehrschichtige Sputterfähigkeit ermöglicht es, detaillierte Muster und komplexe Schichten zu erstellen und Objekte aller Größen mit gleichmäßiger Dicke zu beschichten. Es kann auch verwendet werden, um harte Beschichtungen für die medizinische und Lebensmittelverarbeitung, optische Filter und Schutzschichten für optische Werkzeuge sowie für dekorative Beschichtungen zu schaffen. Darüber hinaus verfügt das Tool über mehrere Sicherheitsmerkmale wie eine Bedienoberfläche, mit der Benutzer zuverlässige Betriebsparameter sowie Alarm- und Notabschaltungen einstellen können. Dadurch wird sichergestellt, dass das Asset sicher genutzt werden kann. Abschließend ist das Sputtermodell ILC 1015i eine fortschrittliche Ausrüstung, die dünne Filme mit gleichmäßiger Dicke erzeugen kann. Es wurde entwickelt, um zuverlässige und sichere Leistung sowie mehrschichtige Sputterfunktionen zu bieten. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Sicherheitsmechanismen machen es zu einer großen Wahl für Sputterprozesse.
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