Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 MKII #9390490 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1051 MKII
ID: 9390490
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Sputtering system, 6" 1991 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1051 MKII ist eine Sputteranlage, die in physikalischen Dampfabscheidungsprozessen verwendet wird. Sputtern ist ein Verfahren zur Herstellung dünner Filme auf Materialien, typischerweise Metallfilme auf Oberflächen. Dieses Sputter-System wird von einer Multi-Plasma-Ionen-Quelle angetrieben und ist speziell entwickelt, um überlegene Oberflächenqualität und hohe Abscheidungsrate zu bieten. CANON ILC 1051 MKII verfügt über eine Vakuumkammer aus Edelstahl und hat ein Volumen von ca. 260 Litern. Es ist mit einem vierachsigen Linearmotorantrieb ausgestattet, der eine präzise dreidimensionale Sputterabscheidung ermöglicht. Das Gerät ist außerdem mit einer Lastschloßkammer und einer Abgaspumpe ausgestattet, die zur schnellen Evakuierung der Kammer für effiziente Prozesszyklen dient. Für das Sputtern verwendet ANELVA ILC-1051 MKII bis zu vier Kathoden, so dass mehrere Filme gleichzeitig abgeschieden werden können. Jede Kathode besteht aus dem zu zerstäubenden Zielmaterial und die Maschine ist mit einer einstellbaren Stromversorgung ausgestattet, die bis zu 4500 Watt an jede Kathode liefern kann. Das Werkzeug ist auch mit einstellbaren Hochfrequenz-Hochfrequenz (RF) -Netzteilen für Hochfrequenzsputtern ausgestattet, was hilft, hohe Abscheideraten und gleichmäßige Schichtdicke zu fördern. ILC-1051 MKII ist in der Lage, verschiedene Sputterprozesse durchzuführen, darunter Hochgeschwindigkeits- und Niedergeschwindigkeitssputtern, Direkt-, Winkel- und Doppelsputtern sowie rotierendes Kathodenzerstäuben. Die Anlage verfügt außerdem über eine bewegliche Mittelebene, die das Aufbringen von Folien auf Substraten verschiedener Größen und Formen ermöglicht. ILC 1051 MKII ist mit einem intelligenten Controller ausgestattet, der den Sputterprozess überwacht und steuert. Dieser Controller beinhaltet ein Touchscreen-Display, programmierbare Tasten und Statusanzeigen, mit denen Bediener den Sputterprozess in Echtzeit überwachen und Parameter entsprechend anpassen können. Zur Steuerung gehört auch ein Barcodeleser zur nahtlosen Integration in automatisierte Sputtersysteme. Abschließend ist CANON/ANELVA ILC-1051 MKII ein zuverlässiges Sputtermodell, das eine hervorragende Oberflächenqualität und hohe Abscheidungsrate bietet. Dieses Gerät ist mit einer Multi-Plasma-Ionen-Quelle, einer 4500 Watt einstellbaren Stromversorgung und einer beweglichen Mittelebene ausgestattet, die das Abscheiden von Filmen auf Substraten verschiedener Größen und Formen ermöglicht. Das System ist zudem mit einer intelligenten Steuerung ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, den Sputterprozess in Echtzeit zu überwachen und zu steuern und Parameter entsprechend anzupassen.
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