Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #293655450 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 293655450
Sputtering system Metal: AlSi, Ti, TiN.
CANON/ANELVA ILC 1051 ist eine Sputterausrüstung, die entwickelt wurde, um eine qualitativ hochwertige Einzelfilmabscheidung zu ermöglichen. Dieses System arbeitet mit einer breiten Palette von Sputterzielen, so dass es eine Vielzahl von verschiedenen Arten von Beschichtungen für eine Vielzahl von Anwendungen zu produzieren. Die Sputtereinheit besteht aus einer Basiseinheit, einer Vakuumkammer, einer Steuerung, einem Zielhalter und einer Abgasmaschine. Die Basiseinheit enthält eine automatische Be- und Entladekammer und die notwendigen Einrichtungen zur Regelung des Vakuums innerhalb des Werkzeugs, einschließlich einer Sollwertsteuerung und programmierbarer Logikregler. Das Vakuum wird durch ein Ionisationsmeßgerät und einen Druckregler überwacht. Zur Druckreduzierung wird über einen Differenzdruckregler ein Inertgas in die Anlage eingeleitet. Die Basiseinheit enthält außerdem eine Stromversorgung und einen Hochfrequenzgenerator. Die Vakuumkammer des Modells besteht aus Edelstahl mit einer eloxierten Aluminiumbeschichtung zum Korrosionsschutz. Es wurde entwickelt, um eine temperaturstabile Umgebung für die Filmabscheidung bereitzustellen. Die Vakuumkammer ist mit einer Diffusionspumpe, einer Turbomolekularpumpe und einer Allzweckvakuumpumpe ausgestattet. Die Prozesskammer ist auch mit Edelstahlleitblechen ausgestattet, um Verschmutzungen von außerhalb der Prozesskammer zu verhindern. Innerhalb der Kammer ist ein Targethalter angebracht, der das Sputtertarget sicher halten soll. Der Zielhalter ist so konzipiert, dass er jede Größe des Sputterziels akzeptiert, einschließlich derjenigen aus verschiedenen Materialien und mit unterschiedlichen Formen. Der Zielhalter ist auch so ausgelegt, dass er eine einfache Positionierung des Targets innerhalb der Kammer ermöglicht. Die Steuerung erfolgt über ein computergesteuertes Steuermodul, das die Parameter des Systems überwacht, um eine optimale Filmabscheidung zu gewährleisten. Dieses Modul ermöglicht es dem Benutzer auch, die Prozessparameter wie Sputterdruck, Zeit und Leistung einzustellen. Das Gerät verfügt auch über eine Abgasmaschine, die überschüssige Partikel und Gase entfernt, die beim Sputtern entstehen. CANON ILC 1051 ist ein effizientes Werkzeug, das qualitativ hochwertige Einzelfilm-Abscheidungsergebnisse liefern kann. Dieses Asset ist in Zielmaterialien und -formen vielseitig einsetzbar und umfasst Funktionen, die eine optimale Sputterumgebung bieten. Diese Funktionen erleichtern auch die Verwaltung der Prozessparameter und sorgen für einen optimalen Betrieb.
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