Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #293740222 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC 1051 ist eine Sputteranlage, die zum Aufbringen dünner Materialfilme auf eine Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Dieses System ist in Forschung und Entwicklung, Industrie- und Universitätslabors weit verbreitet und wurde in der Halbleiterindustrie weit verbreitet, um dielektrische und metallische Schichten auf der Oberfläche von Silizium- und Galliumarsenid-Wafern abzuscheiden. CANON ILC 1051 ist eine Sputtereinheit, die mit einer Magnetron-Sputterpistole dünne Materialschichten auf die Oberfläche eines Substrats aufbringt. Die Sputterpistole verwendet Gleichstrom (DC) und reaktive Hochfrequenz (HF) -Leistung, um Zielmaterialien zu verdampfen und auf einem Substrat abzuscheiden. Die Maschine verfügt über eine Quarzvakuumkammer, die mit einem Substrathalter, einem Satz mehrpoliger Permanentmagnete und Ionenmessgeräten zur Messung von Druck und Temperatur innerhalb der Kammer ausgestattet ist. Der Substrathalter ist für Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 9,8 Zoll ausgelegt. Die Gleichstrom- und HF-Stromquellen können individuell eingestellt werden, um die optimale Abscheiderate und Qualität zu gewährleisten. Die Magnete erzeugen ein gleichmäßiges Magnetfeld, das hilft, Hintergrundplasma zu reduzieren und die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schichten zu verbessern. Das Werkzeug hat eine Reihe von nützlichen Funktionen, die es für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Es umfasst ein integriertes wassergekühltes Target, das eine längere Ziellebensdauer ermöglicht, sowie ein Sauerstoffätzmodul zum Reinigen oder Ätzen der Substrate vor der Abscheidung. Es enthält auch eine integrierte Verschlussvorrichtung für einen verbesserten Schutz gegen äußere Partikel und Verunreinigungen. ANELVA ILC-1051 verfügt über ein hohes Maß an Steuerbarkeit, so dass genaue und wiederholbare Abscheidungen möglich sind. Die Kombination von Gleichstrom- und RF-Stromquellen bietet eine hohe Flexibilität im Abscheidungsprozess mit der Fähigkeit, die Abscheiderate und Dicke, Gleichmäßigkeit und Zusammensetzung zu steuern. Das Modell ist auch in der Lage, verschiedene reaktive Gase für verschiedene Arten der Abscheidung zu liefern. CANON ILC-1051 ist die ideale Abscheideausrüstung für Anwendungen, die höchste Kontrolle und Genauigkeit erfordern. Es bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Abscheidung und kann verwendet werden, um qualitativ hochwertige Schichten für eine breite Palette von Anwendungen zu erstellen.