Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #9144936 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 9144936
Wafergröße: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 Sputterausrüstung ist eine robuste und zuverlässige Vorrichtung entwickelt, um eine Reihe von Folien Schichten und Materialien auf einer Reihe von Substraten abzuscheiden. Es hat die Fähigkeit, dünne Materialschichten sehr präzise und konsistent auf flache und gekrümmte Oberflächen zu sputtern. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Hochvakuumkammer und einer Kammerdrucksteuerung. Die Hochvakuumkammer besteht aus Edelstahl und ist mit einer Turbomolekularpumpe ausgestattet, um einen Basisdruck niedrig genug zu halten, um Gasmoleküle aus der Kammer zu evakuieren. Dieses Verfahren wird als Entgasung bezeichnet. Die Kammer wird auch mit einem Wassermantel geliefert, um die Außenwände der Kammer auf einer konstanten Temperatur zu halten und die Pumpleistung zu verbessern. Die Kammerdruckregelmaschine ist eine Kombination aus einer Ionenquelle und einer Stromversorgung. Die Ionenquelle erzeugt positive und negative Ionen, die mit den Atomen und Molekülen in der Kammer kollidieren, um die Atome anzuregen und Sputtern zu erzeugen. Die Stromversorgung steuert dann die an Elektronenkanone und Gasquelle angelegte Spannung, so daß die gewünschte Zerstäubungsrate erreicht wird. CANON ILC 1051 kann verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien und Folienschichten zu sputtern. Dazu gehören Metalle, Legierungen, Oxide und Nitride. Es hat auch die Fähigkeit, auf eine Reihe von Substraten wie Silizium, Glas und Kunststoff zu sputtern. Neben dem Sputtern kann ANELVA ILC-1051 auch für Prozesse wie Ätzen und Oberflächenreinigung eingesetzt werden. CANON/ANELVA ILC-1051 ist mit einem Steuergerät ausgestattet, das es ermöglicht, entweder manuell oder automatisch zu bedienen. Im manuellen Modus kann der Bediener die Parameter wie Druck, Temperatur und Spannung manuell einstellen, um die gewünschten Parameter zu erreichen. Im Automatikmodus behält das Steuerelement die gewünschten Parameter selbständig bei. Das Modell verfügt außerdem über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie einen automatischen Abschaltmechanismus, einen Notausgang und einen Notabschalter. Die Ausrüstung ist auch für zusätzliche Sicherheit abschließbar ausgelegt. Insgesamt ist ILC-1051 Sputtersystem ein zuverlässiges und robustes Gerät, mit dem eine Reihe von Folienschichten und Materialien auf eine Reihe von Substraten aufgebracht werden können. Es bietet dem Bediener sowohl manuelle als auch automatische Betriebsarten und verfügt über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um einen optimalen Betrieb zu gewährleisten.
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