Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #9156540 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 9156540
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 Sputtergeräte ist ein fortschrittliches, hochpräzises Prozesswerkzeug, das dünne Filme mit ausgezeichneter gleichmäßiger Abdeckung und Schrittabdeckung für die Herstellung von integrierten Schaltungen, Datenspeichern und anderen High-Tech-Geräten ablegen kann. CANON ILC 1051 verfügt über ein integriertes Sputtersystem mit Lastschloßkammer, integrierten HF/DC-Netzteilen, Hochvakuumeinheit und kippbarer planarer Magnetronkathode für DC-Magnetronsputtern. Zusätzlich ist die Maschine mit einer Niederdruck-HF-Vorspannung von 3 MHz ausgestattet, die eine kontrollierbare Bombardierleistung zur Förderung des Sputterprozesses bietet. Die Niederdruck-HF-Leistung erhöht die Gleichmäßigkeit der zerstäubten Abscheidung und erhöht die Beständigkeit der Folie gegen Hitzeschäden. Die kippbare planare Kathode kann eine Temperatur von bis zu 150 ° C erreichen, um eine sauberere Oberfläche für den Abscheidungsprozess zu schaffen. ANELVA ILC-1051 nutzt die „Dual-Arc“ -Technologie mit individuell einstellbaren Bögen, um Gleichmäßigkeit und reproduzierbare Sputterergebnisse zu erzielen. Diese Technik beinhaltet zwei rotierende Bögen, was zu einem höheren Durchsatz und einer verbesserten Prozessqualität führt. Mit der Dual-Arc-Technologie kann der Abstand zwischen den Bögen genau eingestellt werden, um eine sehr dünne Schichtabscheidung zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt CANON/ANELVA ILC-1051 über eine einzigartige Ionenbeschleunigungstechnologie, die zur Verbesserung von Folienqualität, Haftung und Ätzbeständigkeit beiträgt. Darüber hinaus ist das Sputterwerkzeug ANELVA ILC 1051 mit einem Hochgeschwindigkeits-Prozessregler mit Gleichstromversorgung, HF-Stromversorgung, Hochvakuumanlage und anderen Steuerungen sowie mehreren Sicherheitssystemen für maximale Prozesssicherheit und wartungsfreien Betrieb ausgestattet. Es enthält auch eine Vielzahl von Funktionen, die eine bessere Prozessgenauigkeit, Feinabstimmung, vereinfachte Wartung, verbesserte Sicherheit und geringere Ausfallzeiten bieten. ILC-1051 Controller arbeitet auch in einem Selbstüberwachungsmodus und zeichnet Daten für jeden Prozess auf, um eine konstante Schichtdicke während der gesamten Ablagerung zu gewährleisten. Abschließend ist ILC 1051 ein leistungsstarkes Sputtermodell, das mit fortschrittlichen, genauen und zuverlässigen Funktionen für die Herstellung von High-Tech-Geräten entwickelt wurde. Es verfügt über eine Dual-Arc-Technologie mit individuell einstellbaren Bögen für verbesserte Prozessqualität, eine Ionenbeschleunigungstechnologie für verbesserte Filmhaftung und Ätzfestigkeit sowie einen Hochgeschwindigkeits-Controller mit Überwachungsfunktionen und fortschrittlichen Sicherheitssystemen.
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