Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1051 #9257784 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 9257784
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 Sputteranlage ist ein Elektromagnetron Sputtersystem für Dünnschichtabscheidung entwickelt. Es ist eine hochleistungsfähige, hochpräzise, automatisierte Industrieeinheit, die eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit von dünnen Folien bietet. CANON ILC 1051 kann Metalle, Oxide und Nitride mit zwei- und dreistufigen Verfahren abscheiden. Es eignet sich für eine breite Palette von Materialien und kann Folien in einer Vielzahl von Dicken abscheiden, von sehr dünnen Schichten bis zu dicken Folien. Es verfügt über eine hochreine Plasmakammer und eine ultrahoche Vakuumumgebung mit einer unübertroffenen Verschmutzungssteuerungsmaschine. Dieses Sputterwerkzeug wird von einem erweiterten X-Y-Tisch gesteuert, der eine präzise Positionierung der Sputterziele und des Substrats ermöglicht. ANELVA ILC-1051 verfügt über ein einstellbares z-anais-Asset, das die Möglichkeit bietet, Dünnschichten auf gekrümmten Oberflächen abzulegen. Es ist mit einem fortschrittlichen Kühlmodell ausgestattet, das die notwendige thermische Kontrolle sowohl für das Sputterziel als auch für das Substrat bietet. CANON ILC-1051 verfügt über eine breite Palette von Komponenten, darunter kippbare Targets, unabhängige Massenstromregler, Temperaturregler und einen automatisierten Plasmagenerator, der die Leistung für den Sputterprozess liefert. Es ist auch mit computergesteuerten Diagnosesystemen zur Überwachung sowohl des Sputterprozesses als auch des abgeschiedenen Films ausgestattet. Eines der einzigartigen Merkmale dieser Sputteranlage ist das fortschrittliche laserbasierte Analysesystem, das detaillierte Daten zur Zusammensetzung und Struktur des abgeschiedenen Films liefern kann. Diese Einheit kann auch zur Messung von Schritthöhen und Schichtdicken sowie zur Überwachung von In-situ-Abscheideeigenschaften verwendet werden. CANON/ANELVA ILC-1051 ist hochautomatisiert und auch für Anwender mit begrenzter Vorerfahrung einfach zu bedienen. Es kann so konfiguriert werden, dass es den Bedürfnissen des Benutzers entspricht, und sein modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Wartung und Upgrades. Es ist eine zuverlässige Maschine, und seine außergewöhnliche Leistung und Qualität machen es zu einer großen Wahl für Forschung, Entwicklung und industriellen Einsatz.
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