Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060 #293643632 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILC-1060 ist eine Sputteranlage, mit der dünne Filme aus Metall oder anderen Materialien auf einem Substrat abgeschieden werden. Bei diesem System handelt es sich um eine Doppelkammereinheit mit einer Lastsperrkammer, einer Hochfrequenzstromquelle und einer Kammer, in der Magnetronsputtern stattfindet. Die Lastsperrkammer ermöglicht das Be- und Entladen des Substrats, ohne es der Umgebung auszusetzen, unter Aufrechterhaltung eines hohen Vakuums in der Sputterkammer. Die Hochfrequenzstromquelle dient dazu, die Magnetrons oder andere Zerstäubungsquellen in der Maschine dazu zu veranlassen, ein Plasma über die Oberfläche des zu zerstäubenden Zielmaterials zu emittieren. Dieses Plasma besteht aus elektrisch angeregten ionisierten Partikeln, die das Zielmaterial bombardieren und Atome und Moleküle lösen, die dann als Dünnfilm auf das Substrat abgeschieden werden. Die Kammer, in der Magnetronsputtern stattfindet, besteht aus einer HF-Stromquelle, einer Vakuumpumpe und einem Umwälzgaswerkzeug. Die HF-Leistung von bis zu 10.000 Watt kann verwendet werden, um einen maximalen Druck von 3 x 10-3 Pa zu erreichen, wodurch eine gleichmäßige Zerstäubung des Zielmaterials über das Substrat gewährleistet wird. Die Vakuumpumpe wird verwendet, um einen konstanten Druck in der Kammer aufrechtzuerhalten, und die Umwälzgasanlage sorgt für eine gleichmäßige Ionisation über dem Substrat. CANON ILC-1060 Modell ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien auf eine breite Palette von Substraten sputtern, so dass es für eine Reihe von Anwendungen wie die Herstellung von integrierten Schaltungen geeignet. Das Gerät enthält auch Diagnosewerkzeuge, die es dem Benutzer ermöglichen, den Abscheideprozess zu überwachen, so dass präzise Parameter angepasst werden können, um bestimmte Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus ist dieses System leicht erweiterbar, ermöglicht mehrere Sputterquellen und hat einen geringen Wartungsaufwand.