Gebraucht CANON / ANELVA ILC 1060 #293643641 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 293643641
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
PVD Sputtering system, 8" 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILC-1060 ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung, die für die Abscheidung hochwertiger dünner Filme auf einer breiten Palette von Substratmaterialien entwickelt wurde. Es beinhaltet die Verwendung mehrerer Kathoden, die einen hohen Durchsatz und die Abscheidung einheitlicher Filme aus hochreinen Materialien ermöglichen. CANON ILC-1060 ist mit einem Autokompensationsnetzteil ausgestattet, das eine beispiellose Kontrolle der Leistung und Gleichmäßigkeit des Films ermöglicht. Das System verfügt zudem über eine Druckregelfunktion, die einen präzisen und stabilen Betrieb der Sputtereinheit ermöglicht. Zusätzlich ist ANELVA ILC 1060 mit einer digitalen Vakuumsteuermaschine ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit und Qualität der Folien erhöht. CANON/ANELVA ILC 1060 verwendet zwei leistungsstarke eingebettete Magnetrons, die ein hohes Maß an Sputterabscheidung bieten. Beide Magnetrons weisen ein kurzes zylindrisches Magnetron-Target-Design auf, das die Zerstäubungsrate der Filmabscheidung durch ein gleichmäßiges und isotropes Magnetfeld erhöht. Die Ziele sind sowohl für große als auch für kleinflächige Substrate einstellbar. Zusätzlich können externe, positionierbare Magnetron-Targets zu CANON ILC 1060 hinzugefügt werden, um fortschrittlichere Prozesse wie PVD (Physical Vapor Deposition) zu ermöglichen. ILC-1060 ist in der Lage, eine Vielzahl von Abscheidungsmaterialien zu handhaben, einschließlich Metalle, Verbindungen, Isolatoren und Legierungen. Mit seinen zwei Zielstufen können mehrere Materialschichten auf ein einziges Substrat gesputtert werden. Die Hochleistungssubstratheizungen ermöglichen sowohl die konventionelle als auch die Niedertemperaturabscheidung von unbequemen Materialien, wodurch eine große Temperaturregelung für eine gleichmäßige Abscheidung von Dielektrikum und Keramik möglich ist. Insgesamt ist ANELVA ILC-1060 ein zuverlässiges und vielseitiges Sputterwerkzeug, das für die Abscheidung von hochwertigen und gleichmäßigen Dünnschichten optimiert ist. Sein mehrfaches Kathodendesign, seine digitale Vakuumsteuerung, seine Magnetronkonfiguration und seine einstellbaren Substrateinstellungen ermöglichen Präzision und Genauigkeit bei der Dünnschichtabscheidung. Dieses Modell ist ideal für alle raffinierten Oberflächentechnologien, bei denen Dünnschichtabscheidung unerlässlich ist.
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